文档介绍：XPS能谱数据处理能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进行处理。这篇文章的目的是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。下面将分三部分介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、复杂谱图的解叠一、多元素谱图的处理:1、将ASC码文件用NOTEPAD打开:X轴起始点及步长Y轴数值2、复制Y轴数值。打开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y):3、如图:点击工具栏plot,选择line4、出现下图:点击B(Y),再点击<->Y,使B(Y)成为Y轴数据。然后在“setXvalues”中输入起始值和步长。5、点击OK,得到下图:6、利用ORIGIN提供的工具可以方便的进行平滑、位移。位移:1)如图:选择analysisàtranslateàvertical或horizontal可以进行水平或垂直方向的位移。我们以水平位移为例进行讲解。2)在图中双击峰顶,如图示(小窗口给出的是此点的X,Y值)3)然后在图中单击其他位置找到合适的X值(小窗口给出的是红十字的X,Y值)4)双击红十字的位置,峰顶就会位移到此处:位移可以反复多次的进行,垂直方向的位移和水平方向的一样。B、平滑1)如图选择:2)出现下面的小窗口3)点击settings出现下面的界面(如果想用平滑后的代替原始的,选择”replaceoriginal”,如果想重新做图选”addtoworksheet”,下面的数值不用改变)4)点击operation,选择savizky-golay进行平滑。得到下图:二、剖面分析数据处理:1、用写字板打开ASC码文件,选取所需要的元素Y轴数据起始值及步长元素名称剖面分析中的CYCLE数2、打开ORIGIN软件,如图示:选择columnàaddnewcolumns如果你的数据有九个cycle那么你要在下面的窗口选择8。然后在B(Y)….J(Y)中依次输入不同cycle的Y轴数值点击图中下方工具栏的waterfallwaterfall然后依次将B(Y)——J(Y)输入Y轴。具体操作如下:点击B(Y)à<->YàAdd,其他Y轴数据(C(Y)等等如法炮制),然后输入X轴起始值和步长点击OK得到下图:谱图修改工具栏应用修改工具得:如果想要得到其中某一个cycle的谱图,只要调出原来的worksheet(数据表),再次点击waterfall,但只选一组Y轴数据(和多元素分析一样),然后输入X轴数据,就可以了。三、谱图解叠:和多元素分析步骤一样,经过平滑、位移,得到下图:去本底:选择toolsàbaseline3、出现下面的窗口,选择baseline,将numberofpoints后的参数改小一些,比如2,点击createbaseline4、出现下图:选择小窗口中的modify:5、拖动每一点到合适的位置(点住鼠标左键不放一直拖到合适的位置):如图6、然后选择substract得到