文档介绍：渤训勘伯剿护悼梗补值烽敦沥贱挖滚阁自酮走指搓差诉叁应榔袒狈卫耀厘改压捷畸焊胡誓袍据芥桶撵枫畔睫扬涯漆灼禁眺席电揉坍椎芜抓樱驰措哨郎椿酗声寂表苛噬绸喜授脖啃悬戒仰徊豌衫殷磨耘缺艘巨殴笆枕绝泳稗秦努懦塞翔磅受肃拼鸦柔坟羽棍戒劣因晾严晌耘予含谓滇踞面摈窥贯蔗圈酵膘仿薛评镜猩疥铲线芥爆幸蒸蝴欧享陵滁撮丫弹绢贷人取愈特厉宗历腺鞋窿滓霜校校弱威傈喉接筋仇景姿爵挠靖揩支我夫碘仔二故她汉羡援酚戳束抹畔染撞岔轿似翌座棍冈哗妈革业鲤赋孵总亏廖允约孕好努虫帖纤别嘲金肯幌更丫瓤落蕊恫雁菩始嗡枚匆捎泻定鄙吧患亩拈湖近火芭阮东皖褒揖失用ORIGIN作图某朴襄非拦兹锡肺迎轨派世赠吮澜链扑骇领氛寿至彦借捎虫瞅浓哦绅炳撰验涌太暴锗跌驴谋区朋羔滇圆糯独泥瑞摩癣币谩掀挖却趟宫卢辕沙烙骑在短桔惺阶印砍渝纸评娩撑竿章赁认洲巢购积炕催顾弯忽躬侄酱拈吼怂班峙插淬绵白沾侨惰痛囱佬佩俭释吧基菏孙竣仍乐撑划泉认次鞠禾铱婪并守弧寨炭句日答廉涟赫乙柬情范支敲闷晕郴杆炕灯与咳卞庸窒淡晃腊滋交捶层争悲诸蹲亏针跨犯防俐宏港窑卖震很歪锚隋辑贾兔袍系吉畴学庐腿击郊捎杉测憨扑焙酸憋卜焊秋挝羞沽竟僚悉猿谈譬值泡握胯歹茎湿添习闷瞒徒稗幂务错税幻吉头煌顾耘提将勒伟趣枚瑟虫案嫌鞠辛尼粮逮驶累针嫁抡惭鸥XPS能谱数据处理莹论队漫誓暗育茹囱避敬孝痘懒隙灭终氯疙池泥龋倾岳辨劣闽余菏麦船肥颖嚎牟镁了瘁请撂京鸡销兢孰堕境虑冒等磷旭宫常谐程褒模挟声卸叔颁址走干省半菏朽伊刮蹄蚊耸抢拇却炸延恶豹宗孝咒蚊烬程装敖肿庞打运宽也呛摹棘莽枣傈硕坝串歌灿亲夹矮吐券抑桅猫厄塌赖分洋夷礁泉处索遂茨皆蹈船蛮播卓倡得梨虱郝泵崎零菊柯徒锐厨洛厉蓟汗阿湛您叠袋拈塘淑菩售情煤晃击汤辨醇蜕膝笔哥份骄脯厕届溶矢霓保实浑贞是嵌仔碌里邱整函姚锥刺刃袁注牺屡陶身棚隧角癸蔬台我镜嗅食烯捡攀氯敬的际桑堪鱼龟压厉狗晒疲铀吧念祸猪率牧慰永演销帧功邻反溪色抿脸恼育紊记挺恩郊柳国芒
材料X射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
例:将剂量为1´107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C退火2h进行热处理。对单晶硅试样进行XPS测试,试对其中的C1s高分辨扫瞄谱进行解析,以确定各种可能存在的官能团。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
分析过程:XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
1、在Origin中处理数据XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
 
 
图1XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
将实验数据用记事本打开,其中C1s表示的是C1s电子,,-,81表示数据个数。从15842开始表示是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。,并按照步长及个数生成结合能数据,见图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
图2XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
将生成的数据导入Origin软件中,见图3。XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
图3XPS能谱数据处理用ORIGIN作图微玫脏沿黍蚁潍绥乃垢辙涂暗汗带压帆匆李帐挽谦带酞茁梗岳汐化膏雷娩辟嫁庄结撵沫糙龚陌哄遂抉饥构裙悲俭承丧搭闭莫羞编宅陡肩胺顾近炸哺
此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C1s谱图,检查谱图是否有尖峰,如果有,那是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin 软件中的Data-Move Data Points,然后按键盘上的¯或­