文档介绍：中华人民共和国建材行业标准半导体用透明石英玻璃棒中华人民共和国工业和信息化部发布——发布凳/备案号:.
刖罱—给出的规则起草。本标准按照/本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会/归口。本标准负责起草单位:久智光电子材料科技有限公司。本标准参加起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准主要起草人:宋维宁、吴洁、王春玲、张锦。本标准为首次发布。,—
半导体用透明石英玻璃棒按用途分为太阳能级石英玻璃棒级偷缱蛹妒⒉AО。⒉A任榷ㄐ允匝榉椒鞍氲继逵猛该魇⒉AЧ段本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒韵录虺剖⒉AО的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。娣缎砸梦募下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本ㄋ械男薷牡适用于本文件。/石英玻璃化学成分分析方法石英玻璃热变色性试验方法⒉Aе恤腔考煅榉椒跤锖投ㄒ缍ǖ氖跤锖投ㄒ迨视糜诒疚募掷嗪捅昙分类标记产品按分类或、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记。ú示例:符合/,直径为姗,长度为В盼奶裟芗锻该魇⒉AО标记为:皇⒉AО粢,籎疶
仃杂质元素含量直径及直径公差应符合表墓娑ā砘阅妒⒉AО单位为毫米
鲥—妒⒉AО舻穆痢⑻⒏啤⒚尽㈩选⑼㈩堋⒚獭⒛⒛啤⒓亍⑴鹗衷又试K氐淖芎量应小于等于.ד,其中:铁含量应不大于ב,钛含量应不大于唬坑不大于×,硼含量应不大于⒛啤⒓⒉AО量应不大于.×渲校禾坑Σ淮笥.×一,钛含量应不大于一,铜含量应不大于,硼含量应不大于,锂、钠、℃下保温糜℃的空气中冷却,试验三次,不应出现裂纹、缺口或崩落小⒛タ诖π∮℃下保温波长处热处理前、后的透射比变化平均值△±嫦卤N鼍Р闫骄穸扔π∮⒅本豆ú罴巴衷捕用分度值不大于的游标卡尺等量具进行测量。测量石英玻璃棒两端及中部的直径,同一截面上测量点不少于觯∷胁饬渴葜械淖畲笾导公称直径所得代数差为直径上公差,最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减最小值,其差值的最大值为椭圆度值。.ざ用分度值为的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处。.淝将石英玻璃棒放在准确度不低于兜钠教ㄉ希沽蕉私籼教ㄗ6⒉AО簦梅侄戎挡淮笥的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙,用最大间隙值再除以公称长度。外观质量将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于ü獾葡拢⒉AО粲牍庠淳嗬氩怀采用黑色衬底,进行目测检验,必要时可用分度值不大于,“。,
锢砘阅杂质元素含量的规定进行分析。煅榉掷产品检验分为出厂检验和型式检验。龀Ъ煅检验项目包括规格尺寸及尺寸公差、外观质量。卸ü,有一项不符合要求,判该支产品为不合格。褪郊煅总则接//——¨
.锢砘阅艹檠从规格尺寸及尺寸公差、外观质量检验合格的石英玻璃棒中随机抽取А支进行理化性能检验。每支产品均符合要求,判该支产品该各项指标为合格。有一项