真空泵与阀门.doc

文档介绍：概要:真空泵与阀门真空泵:概要:真空泵是获得真空的设备,根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。。:分类极限真空应用真空泵气体移动式位移式卷泵(Scroll pump)
真空泵是获得真空的设备,根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。。真空泵与阀门真空泵:概要:真空泵是获得真空的设备,根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。。:分类极限真空应用真空泵气体移动式位移式卷泵(Scroll pump)
:真空泵与阀门真空泵:概要:真空泵是获得真空的设备,根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。。:分类极限真空应用真空泵气体移动式位移式卷泵(Scroll pump)
分类
极限真空
应用
真空泵
气体移动式
位移式
卷泵(Scroll pump)
×10-3Torr
CD-SEM
油回转泵(Oil sealed rotary pump)
<×10-5Torr
II/SP
罗茨泵(roots blower, roots pump)
<5×10-5Torr
II/SP/Dry/CVD
水环泵(water ring pump)
<5×10-3Torr
-
活塞泵(piston pump)
<5×10-3Torr
-
隔膜泵(diaphragn pump)
<5×10-3Torr
II/Anneal
动力式
扩散泵(diffusion pump)
<1×10-8Torr
II
喷射泵(ejection pump)
-
-
分子泵(turbo molecular pump)
<5×10-9Torr
II/SP/Dry/
分子拖曳泵(molecular drag pump)
-
-
气体凝聚式
吸气泵(sorption pump)
-
-
冷冻陷阱(cold trap)
-
-
冷凝泵(cryo pump)
<5×10-9Torr
II/SP/Dry/
溅射离子泵(spuutter ion pump,SIP)
<5×10-10Torr
CD-SEM
钛升华泵(titanium sublimation pump)
-
-
非蒸发吸气泵(non evaporable getter)
-
-
二、各类真空泵的特性真空泵与阀门真空泵:概要:真空泵是获得真空的设备,根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。。:分类极限真空应用真空泵气体移动式位移式卷泵(Scroll pump)
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真空泵类型
是否需要
支援泵
是否有油
形成问题的气体或蒸气
备注
入口
出口
干式转动泵
否
否
是
可压缩的
粗抽泵
油密封转动泵
否
是
是
需要气镇
通常用做粗抽/支援
罗茨泵
是
否
是
压缩比低
有油污染,除非先除油
扩散泵
是
是
是
对H2和He低压缩比
油污染最严重
分子泵
是
否
是
高真空泵
分子拖曳泵
是
否
是
吸收泵
否
否
无出口
可燃气体有爆炸的危险
做干式粗抽
冷泵
否
否
否
对H2、He容量低
溅射离子泵
否
否
无出口
对惰性气体不佳
(六)、分子泵(turb