文档介绍：扫描电子显微镜技术参数
1. 扫描电镜主机
★ 分辨率
二次电子探测器分辨率:< nm (30 KV);<8nm (3 KV ),
背散射电子探测器分辨率: <(30kv )。
★ 放大倍数:
最低倍率可达到1倍,最高倍率可达到1000,000。
真空系统
★ 具有高低真空功能,高低真空自动转换;
★ 样品室真空度:高真空可达到5×10-4 Pa;
低真空范围不小于5-500Pa;
电子光学系统
电子枪:钨灯丝,具有自动加热及对中的功能;
聚光镜:具有自动可变焦功能;
加速电压:200V-30kV,10V步进可调;
:最大束流不小于 2uA,并连续可调。
★,可以精确控制束流和束斑尺寸;
样品室和样品台
★ 样品台尺寸:装载直径≥200mm样品;
★:具有全自动五轴马达驱动功能;
样品台移动范围:X=100 mm,Y=100mm,Z=100 mm
旋转:360度连续
倾斜:-30度到+90度
更换样品后抽真空时间:< 5分钟;
样品台具有报警与自动停止功能,具有样品位置感知功能。
探测器及成像系统
★
具备可伸缩的YAG晶体背散射电子探测器
具备用于观察样品室情况的红外摄像机;
★ 成像模式:同时得到二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像,也可四幅图像同时成像,BSE可分别成像,并和SE任意叠加混合;
;
★:从20 ns至10 ms像素,可阶段或连续式的调整,可进行3维
电子束扫描,电子束沿X和Y轴倾斜扫描实时立体成像。

:鼠标、键盘、轨迹球;
:Intel® Core ,8GB内存,500GB硬盘,nVIDIA GT630 2GB DDR3,Windows 8
,图像采集、存档、处理和分析;
★。
2. 能谱