文档介绍：特殊气体介绍
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Pressure unit: (压力单位)
psig—表压,psia—绝对压力 psia=psig+
1bar=105Pa===
1atm=
Flow rate unit:(流量单位)
sccm—毫升/分钟 slpm—升/分钟
1slpm=m
S表示标准状态,即:1大气压,20 ℃。
Weight unit:(重量单位)
1Kg=
压力/ 重量单位
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化学品及企业标识: 化学品名称, 企业名称,企业应急电话等
危险性概述: 危险性类别(8大类),侵入途径,健康危害等
急救措施: 皮肤接触,眼睛接触,吸入等
消防措施: 危险特性,有害燃烧产物,灭火方法及灭火剂,灭火注意事项等
泄露应急处理: 应急处理和消除方法等
操作处置与储存: 操作注意事项,储存注意事项等
接触控制/个体防护: 最高容许浓度TLV,呼吸系统防护,眼睛防护,身体防护等
理化特性: PH值,沸点(℃),相对蒸气密度(空气=1)等
废弃处置:废弃物性质,废弃处置方法,废弃注意事项等
法规信息:国内化学品安全管理法规,国际法规等
MSDS—物质安全资料表
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SMIC 的特殊气体分为四种:
惰性气体
毒性气体
腐蚀性气体
可燃性/毒性气体
气体的定义
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在SMIC总共有41种特殊气体:
14种惰性气体
CF4, CHF3, C4F8, C2F6, SF6, CO2, C3F8, %O2/He, 20%O2/N2,
30%O2/He, %Kr/Ne, %He/N2, 100ppmXe/Ar/Ne, %He/N2
6种毒性气体
SiH4, 1%PH3/N2, 1%PH3/H2, CO, %AsH3/H2,B2H6
8种腐蚀性气体
ClF3, NH3, SiF4, HCl, Cl2, HBr, %F2/%Kr/Ne, %F2/%Ar/Ne
10种可燃性/毒性气体
NO, SiH2Cl2(DCS), N2O, NF3, 10%CH4/Ar, CH3F, CH2F2, C4F6, 4%H2/N2, 5%H2/He, CH4
Sub-Fab (腐蚀性)—C5F8, BCl3 和 WF6
气体的定义
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气体房包括 CQC(连续质量控制) 房, 纯化器房,惰性气体房,毒性气体房,腐蚀性气体房和可燃性/毒性气体房.
气体房布置图如附件:
气体房布置图
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特殊气体通过气瓶柜输送到特殊气体分配器—VMB/VMP, 然后送到机台端给制程用
特使气体供应系统包括 3 部分:
气瓶柜—气体供应的源头, 供应稳定压力的气体
VMB/VMP —气体分配器, 装有阀门来控制每一路气体管道
机台—特殊气体的最终用户
特使气体供应系统
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G/C 气瓶柜
VMB/VMP
Tools 机台
1st Floor Gas Room
1楼气体房
2nd Floor Sub-Fab
2楼次洁净室
3rd Floor Clean Room
3楼洁净室
特殊气体供应流程图
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气体房
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FAB1 特气气瓶柜
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