1 / 2
文档名称:

IC工艺,CMOS工艺,MEMS工艺有什么关系和区别-.doc

格式:doc   大小:356KB   页数:2页
下载后只包含 1 个 DOC 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

IC工艺,CMOS工艺,MEMS工艺有什么关系和区别-.doc

上传人:170486494 2018/11/13 文件大小:356 KB

下载得到文件列表

IC工艺,CMOS工艺,MEMS工艺有什么关系和区别-.doc

文档介绍

文档介绍:IC工艺,CMOS工艺,MEMS工艺有什么关系和区别?
ic即intergarted circuit,集成电路,,有很多种,比如最早的bipolar工艺、后来的nmos工艺、pmos工艺以及现阶段被广泛使用的cmos工艺(cmos工艺就是在一套制程种能同时生产两种mos,nmos和pmos),另外还有集成了cmos和bipolar的bi-cmos工艺等等.


而mems即微机电系统,是一门新兴学科和领域,跟ic有很大的关联,当然mems工艺也和cmos工艺会有很大的相似之处,现在的发展方向应该是把二者集成到一套的工艺上来.
对mems不是特别的了)