文档介绍：镀膜技术十个主要问题及答案
问题:
镀膜技术可区分为那几类?
可区分为:(1)真空蒸镀(2)电镀(3)化学反应(4)热处理(5)物理或机械处理
常用的真空泵浦有那几种?适用的抽气范围为何?
真空泵浦可分:
(1)机械帮浦(2)扩散泵浦(3)涡轮泵浦(4)吸附泵浦(5)吸着泵浦
真空泵浦抽气范围:
泵浦抽气范围
机械泵浦 10-1 ~ 10-4 毫巴
扩散泵浦 10-3 ~ 10-6 毫巴
涡轮泵浦 10-3 ~ 10-9 毫巴
吸附泵浦 10-3 ~ 10-4 毫巴
吸着泵浦 10-4 ~ 10-10 毫巴
电浆技术在表面技术上的应用有那些?
1)溅浆沉积:溅镀是利用高速的离子撞击固体靶材,使表面分子溅离并射到基材镀成一层薄膜,溅射离子的起始动能约在100eV。常用的电浆气体为氩气,质量适当而且没有化学反应。
(2)电浆辅助化沉积:气相化学沉积的化学反应是在高温基材上进行,如此才能使气体前置物获得足够的能量反应。
(3)电浆聚合:聚合物或塑料薄膜最简单的披覆技术就是将其溶剂中,然后涂布于基板上。电浆聚合涂布法系将分子单体激发成电浆,经化学反应后形成一致密的聚合体并披覆在基板上,由于基材受到电浆的撞击,其附着性也很强。
(4)电浆蚀刻:湿式碱性蚀刻,这是最简单而且便宜的方法,它的缺点是碱性蚀刻具晶面方向性,而且会产生下蚀的问题。
(5)电浆喷覆:在高温下运转的金属组件须要有陶瓷物披覆,以防止高温腐蚀的发生。
蒸镀的加热方式包括那几种?各具有何特点?
加热方式分为:(1)电阻加热(2)感应加热(3)电子束加热(4)雷射加热(5)电弧加热
各具有的特点:
(1)电阻加热:这是一种最简单的加热方法,设备便宜、操作容易是其优点。
(2)感应加热:加热效率佳,升温快速,并可加热大容量。
(3)电子束加热:这种加热方法是把数千eV之高能量电子,经磁场聚焦,直接撞击蒸发物加热,温度可以高达30000C。而它的电子的来源有二:高温金属产生的热电子,另一种电子的来源为中空阴极放电。
(4)雷射加热:激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上,产生局部瞬间高温使其逃离。最早使用的是脉冲红宝雷射,而后发展出紫外线准分子雷射。紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高,因此准分子雷射的功率密度甚高,用以加热蒸镀的功能和电子束类似。常被用来披覆成份复杂的化合物,镀膜的品质甚佳。
它和电子束加热或溅射的过程有基本上的差异,准分子雷射脱离的是微细的颗粒,后者则是以分子形式脱离。
(5)电弧加热:阴极电弧沉积的优点为:(1)蒸镀速率快,
(2)基板不须加热
(3)可镀高温金属及陶瓷化合物
(4)镀膜密高且附着力佳
五、真空蒸镀可应用在那些产业?
主要产业大多应用于装饰、光学、电性、机械及防蚀方面等,现就比较常见者分述如下:(MgO、MgF2、SiO2等),镜片置于半球支顶,一次可镀上百片以上。
、合金或化合物镀膜,应用于微电子当导线、电阻、光电功能等用途。_
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,耐温达1100OC,可应用须耐高温环境的工件,如高速切削及成形加工、涡轮引擎叶片等。