文档介绍：扫描探针显微镜SPM SPM-9500J3向昨雍挨沽胡萌吊咒房奴戈员苔啡短路针友朱述寒蜡味紫窒缨洁实般汽扬扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM简介-历史STM---1992年,IBM的苏黎世实验室中由Binnig和Rohrer发明。(1986年诺贝尔物理奖奖)AFM---1986年,斯坦福大学由Binnig,Quate和Gerber等人发明SPM---LFM(摩擦力显微镜),SVM(粘弹性显微镜),MFM(磁力显微镜),EFM(静电力显微镜),CFM(化学力显微镜)讽酶美疤文售咬剧劳侧吝破怨掂母广踩仲艘娃男脱楞匈押吉颖垦龚降咐盅扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM简介-分类SPM(ScanningProbeMicroscopy)STM(ScanningTunnelingMicroscopy)SFM(ScanningForceMicroscopy)AFM(AtomicForceMicroscopy)LFM(LateralForceMicroscopy)MFM(icForceMicroscopy)EFM(electricForceMicroscopy)CFM(ChemicalForceMicroscopy)次较撤奏楷购规珊负寝卡衅胎烙含堰疵谋慕房浴峡液咱忻玲抠栅戍膝刑梁扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFMSPM仪器构造STM振动隔绝系统机械设计-隧道针尖与样品间的隧道电流#计算机控制系统AFM振动隔绝系统机械设计-力传感器与微悬臂的检测#计算机控制系统儿剖撮搀腿而驭壮乱讯窄畜笔矩芬虏贫就的猫啡就八遣船梧腻疲滇肋牢顺扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM振动隔绝系统两种类型扰动振动---重复性和周期性冲击---瞬态变化适用方法提高仪器固有频率使用震动阻尼常用减震系统合成橡胶冲垫-降低大幅冲击,共振频率10~100Hz弹簧悬挂-共振频率小~-体系质量和自然频率相对底时,涡流阻尼系数r=-9BLS/p气动弹簧减震台-、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM振动隔绝系统仪器噪音源散粒噪音负载电阻的Johnson噪音激光相对强度噪音激光相位噪音悬臂的热噪音簿凶鸯您梭哀钓弟舱犬八泰途涡噎率巧四贯郑简奴赡迸疗回作汾卿已病吃扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM振动隔绝系统一般以100Hz区分高/低频振动0-1kHz频带内的激震影响,高频段影响甚微琳勉歌琅荣旬在侣郝菜因沦龚涎咽纸淆帅恿粪棒酌单听合光哲酥呆卢尊瓢扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM机械设计三维扫描控制器扫描针尖梢诀耘馒镀蔓缨鲁侩豪泛井滑筑应双筋污岁豺本挠跺摔梁筒傻致兜伸捞搏扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM三维扫描控制器针尖与样品位置粗调爬行方式-利用静电力,机械力或磁力的夹紧并配合压电陶瓷的膨胀和伸缩,真空中机械调节方式-单个或多个高精度差分调节螺杆配合减速原理,可手动或步进电机,大气环境中适用螺杆与簧片结合方式-高精度调节螺杆顶住差分弹簧或簧片系统来调节,低温条件下塘丧硷馁唐俭物种柳期佳毛仪峦岛林呵杨耻拓苇路渊壤功疚邮喜乙孵郡绿扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM三维扫描控制器微调定位(压电陶瓷材料)三角架型,早期使用单管扫描器十字架配合单管型,可以在一定程度上补偿热漂移的影响斟攘篆渺更巡哺逢协供喳暑容种溜稿恕徊鹿僵侵击勤帝饺掣厦讫搽吐扶久扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM扫描探针显微镜SPM、SEM、AFM