文档介绍：扫描探针显微镜SPMSPM-9500J3简介-历史STM---1982年,IBM的苏黎世实验室中由Binnig和Rohrer发明。(1986年诺贝尔物理奖奖)AFM---1986年,斯坦福大学由Binnig, Quate和Gerber等人发明SPM---LFM(摩擦力显微镜),SVM(粘弹性显微镜),MFM(磁力显微镜),EFM(静电力显微镜),CFM(化学力显微镜)简介-分类SPM(Scanning Probe Microscopy)?STM(Scanning Tunneling Microscopy)?SFM(Scanning Force Microscopy)?AFM(Atomic Force Microscopy)?LFM(Lateral Force Microscopy)?MFM(ic Force Microscopy)?EFM(electric Force Microscopy)?CFM(Chemical Force Microscopy)SPM仪器构造STM?振动隔绝系统?机械设计-隧道针尖与样品间的隧道电流#?计算机控制系统AFM?振动隔绝系统?机械设计-力传感器与微悬臂的检测#?计算机控制系统振动隔绝系统两种类型扰动?振动---重复性和周期性?冲击---瞬态变化适用方法?提高仪器固有频率?使用震动阻尼常用减震系统?合成橡胶冲垫-降低大幅冲击,共振频率10~100Hz?弹簧悬挂-共振频率小~?磁性涡流阻尼-体系质量和自然频率相对底时,涡流阻尼系数r=-9BLS/p?气动弹簧减震台-?散粒噪音?负载电阻的Johnson噪音?激光相对强度噪音?激光相位噪音?悬臂的热噪音振动隔绝系统一般以100Hz区分高/低频振动0-1kHz频带内的激震影响,高频段影响甚微机械设计三维扫描控制器扫描针尖三维扫描控制器针尖与样品位置粗调?爬行方式-利用静电力,机械力或磁力的夹紧并配合压电陶瓷的膨胀和伸缩,真空中?机械调节方式-单个或多个高精度差分调节螺杆配合减速原理,可手动或步进电机,大气环境中适用?螺杆与簧片结合方式-高精度调节螺杆顶住差分弹簧或簧片系统来调节,低温条件下三维扫描控制器微调定位(压电陶瓷材料)?三角架型,早期使用?单管扫描器?十字架配合单管型,可以在一定程度上补偿热漂移的影响