文档介绍：振动与冲击
第 30卷第 7期 JOURNALOFVIBRATIONANDSHOCK
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檪科研简报
MEMS高 g加速度传感器高过载能力的优化研究
石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明
(中北大学电子测试技术重点实验室,太原 030051)
摘要:设计的 MEMS高 g加速度传感器抗高过载能力差,将导致在冲击等恶劣环境中应用时结构易破坏。通过
分析传感器结构对其抗过载能力的影响,及在高冲击测试中传感器结构损坏情况的统计,提出了一种新颖的优化高 g加
速度传感器抗高过载能力的方法。该方法是在结构最易断裂的梁根部和端部添加倒角,以分散在冲击作用下传感器结构
这些部位受到的应力,进而提高加速度传感器的高过载能力,并从理论仿真分析了该方法的可行性。最后利用 Hopkinson
杆测试方法对优化前后的加速度传感器进行冲击测试,测试结果表明,加速度计的抗高过载能力从 180000g提高到 240
000g,说明该优化方法显著,明显提高了该类加速度传感器的抗高过载能力,设计的加速度传感器达到了较理想的抗高
过载能力。
关键词:MEMS高 g加速度传感器;高过载;Hopkinson杆冲击测试;倒角;优化
中图分类号:TP212 文献标识码:A
HighoverloadabilityoptimizationofaMEMShighelerometer
SHIYunbo,LIPing,ZHUZhengqiang,LIUJun,ZHANGXiaoming
(ScienceandTechnologyonElectronicTest&MeasurementLaboratory,NorthUniversityofChina,Taiyuan030051,China)
Abstract: ThestructuretobemeasurediseasytodestroyifadesignedMEMShighelerationsensorhasless

overloadcapacityandcollectingitsstructuraldamagestatisticsinhighimpacttesting,anewmethodwasputforward,it
couldoptimizetheoverloadresistantabilityofahigh,chamferswereaddedatroot
andendofabeam beingthepartmosteasilytobebrokeninasensorstructureinordertodispersethestressofsuch