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论文作一:壬蒝做作者虢乇爰弓搅!3辍卧聑/日阦月乙乙日钐州。。∥月~·广西大学学位论文原创性声明和学位论文使用授权说明学位论文原创性声明学位论文使用授权说明隧挝励日即时发布本人声明:所呈交的学位论文是在导师指导下完成的,研究工作所取得的成果和相关知识产权属广西大学所有。除己注明部分外,论文中不包含其他人已经发表过的研究成果,也不包含本人为获得其它学位而使用过的内容。对本文的研究工作提供过重要帮助的个人和集体,均已在论文中明确说明并致谢。本人完全了解广西大学关于收集、保存、使用学位论文的规定,即:本人保证不以其它单位为第一署名单位发表或使用本论文的研究内容;按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子版本;学校有权保存学位论文的印刷本和电子版,并提供目录检索与阅览服务;学校可以采用影印、缩印、数字化或其它复制手段保存论文;在不以赢利为目的的前提下,学校可以公布论文的部分或全部内容。请选择发布时间:。口解密后发布C苈畚男枳⒚鳎⒃诮饷芎笞袷卮斯娑导师签名.
微机电系统器件设计综合与优化方法研究摘要微型机电系统是集微型机构、结构、执行器、传感器与信号处理、电路、通信、电源、接口等于一体的微米级器件系统。在航空、航天、汽车、航海、医疗等领域有着广泛潜在的巨大应用前景。按照预定的性能求解设计参数称之为综合,满足给定条件并使某些性能最优称之为优化。目前国内外对器件的设计综合和优化设计方法研究较少,主要集中为遗传算法、退火算法等自然模拟算法。这些自然模拟算法分析次数多,迭代周期长,效率不是很高,有必要根据器件的设计综合和优化问题的不同与分析工具研究开发更为合理有效的设计综合和优化方法。本文致力于研究器件的设计综合与优化设计方法,主要包括:器件设计综合方法研究;骷呕杓品椒ㄑ芯俊1疚难芯砍晒不仅具有重要学术价值,而且具有重要工程应用意义。本文的主要工作如下:骷纳杓谱酆闲路椒ㄑ芯俊D壳按蠖喟袽骷杓谱合问题转化成基于最小二乘的优化问题,并采用自然模拟算法如退火算法、遗传算法等对器件进行设计综合计算,但其计算效率和精度不是很高。本人认为器件设计综合问题实际上就是要求设计的器件性能参数等于预定数值,针对器件设计综合问题的这种特点本文提出了采用高效的按预定性能直接求解设计方程法对器件进行设计综合。同时针对器件的设计综合问题构建了适用于器件的设计综合程序流程
ò丛ざㄐ阅苤苯忧蠼馍杓品匠谭ㄓτ糜诘湫偷腗骷簧ǖ贾胤ㄓτ糜贛骷痪驳缂だ骱臀⒓铀俣鹊挠呕杓岢隽嘶旌匣蛞坏贾胤ā=岷弦糯惴ê突诿舳鹊牡贾胤与框架,并采用编制了适用于解决设计综合问题的通用可行的综合设计程序,为器件的设计综合提供了很好的设计综合手段和软件工具。形弹簧和微谐振器的设计综合。分析了蛇形弹簧和微谐振器的设计要素,构建了蛇形弹簧和微谐振器的设计综合数学模型,基于捎冒丛ざ性能直接求解设计方程法进行了设计综合,计算效率和计算结果验证了本文求解方法的优越性。并采用辛私!⒎治龇抡嬗胙橹ぁ骷挠呕杓菩路椒ㄑ芯俊NA颂岣叩苯翊蠖嗖捎玫囊传算法等自然模拟算法的优化效率和优化精度,针对器件的优化设计问题特点提出了采用高效的基于敏度计算的导重法对器件进行优化设计。同时针对器件的优化设计问题采用软件开发编制了通用可行的优化设计程序。为器件的优化设计提供了很好的优化软件工具。中。分析了静电激励器和梳齿式微加速度计的设计要素,’构造了静电激励器和微加速度计的优化数学模型,基于捎玫贾胤ǘ云浣辛擞呕设计,计算效率和计算结果验证了导重法的优越性。并采用砑行了建模、分析仿真来验证校核。提出混合基因一导重法,充分利用各自的优点来提高优化效率和优化精度。微机电系统;导重法;谐振器;静电激励器;设计综合;优化设计;蛇形弹簧;微微加速度计关键词:
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.忍治觥录目论文的研究内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.论文的研究意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第三章微机电系统器件设计综合⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.微机电系统概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒒缦低车奶氐恪.⒒缦低车湫推骷胗τ谩微机电系统设计与分析技术现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯微机电系统设计综合与优化方法综述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒒缦低匙酆戏掷唷.⒒缦低匙酆戏椒ā.⒒缦低秤呕椒ā参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯