文档介绍：目录
中文摘要 1
英文摘要. 2
1 引言 3
2 电容式加速度传感器 6
各式加速度传感器的比较 6
电容式加速度传感器的分类 10
电容式加速度传感器设计方法选择与优化 12
电容加速度传感器结构梁的设计 15
3 加速度计主要失效模式和失效机理 20
表面粘附 20
结构断裂 21
分层失效 21
辐射失效 22
4 硅-玻璃键合加速度传感器的工艺过程 23
工艺相关 23
工艺过程 24
5 计算机设计与仿真 28
MEMES-PRO软件环境 28
加速度传感器相关部件、电路及波形 28
结论 31
谢辞 32
参考文献 33
基于MEMMS电容式加速度传感器的设计
摘要:加速度传感器的设计与研究在国内外已经持续了很多年。在这段研究中,各式各样的加速度计在不断出现。本文从MEMS的发展入笔,罗列传感器重要特性,比较硅微电容式加速度传感器、硅微压阻式加速度传感器、硅微热电偶式等各种传感器,介绍相关原理和一些用途。选取电容式加速度传感器作为方向,阐述相关设计原则和注意事项。针对微机械电容式加速度计主要有三种结构,即三明治摆式加速度计结构、跷跷板摆式加速度计和梳齿式微加速度计结构,对其原理作比较详尽的介绍,对工艺实现难易作出比较。论述加速度传感器的相关优化方案的选取,粱结构的优化选择和体硅加工等系列方案选取。进而说明加速度计的主要失效模式和实效机理。最后选取一种加速度计,介绍其涉及到的MEMS工艺和工艺步骤。介绍MEMS软件的相关应用。
关键词:MEMS,加速度传感器,电容式
Abstract: Accelerometer Design and Research has been going on at home and abroad for many years. During this study, a wide range of emerging in the accelerometer. In this paper, the development of MEMS as a starting point, list the important characteristics of the sensor, compare among micro-silicon capacitive accelerometer, micro-silicon piezoresistive accelerometer, micro-silicon thermocouple accelerometer and other types, introduce the relevant principles and some uses. Select capacitive accelerometer as the main point, expound the related design principles and attention. cantilever beam micromachined silicon accelerometer, pendulous micromachined silicon accelerometer and finger-shaped micromachined silicon accelerometer, as the main structures in micro-silicon capacitive accelerometers, we have a detailed introduction about the principle parison about the processes. Expound the optimization of sensor, beam structure, bulk processing and other related respects. Then explain the main failure mode and effectiveness of the mechanism of the acceleration. Finally, select an accelerometer to introduce MEMS technology involved and the process steps. Introduce the applications of MEMS software.
Keywords: MEMS, acceleration sensor, capacitive
1 引言
MEMS技术发展的