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气相沉积法碳化硅涂层.doc

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气相沉积法碳化硅涂层.doc

上传人:suijiazhuang2 2019/2/25 文件大小:88 KB

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气相沉积法碳化硅涂层.doc

文档介绍

文档介绍:—XXXX气相沉积法碳化硅涂层Siliconcarbidecoatingmadebyvapordeposition(征求意见稿)本稿完成日期:2017年7月XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施中华人民共和国工业和信息化部发布前言本标准是关于在石墨表面化学气相沉积碳化硅硬质涂层的系列标准。本标准按GB/-2009给出的规则起草。本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。本标准负责起草单位:江苏协鑫特种材料科技有限公司本标准参加起草单位:江苏中能硅业科技发展有限公司本标准主要起草人:于伟华气相沉积法碳化硅涂层范围本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层的产品标准、试验方法、验收标准以及包装、标识、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。规范性引用文件下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订。使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。ENISO9220金属覆盖层镀层厚度测量扫描电子显微镜法JB/T8554气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法GB/T6462金属和氧化物覆盖层厚度测量显微镜法GB/T6463金属和其它无机覆盖层厚度测量方法评述GB/:气体比较比重仪法测定密度(仲裁法)GB/:液体置换比重瓶法测定密度GB/T16535精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法GB/:电火花、抛(喷)丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面GB/T1031产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值GB/,化学气相沉积法制备石墨表面碳化硅涂层厚度可调整。,如果测试密度结果偏差达到20%,则说明该涂层并不致密。:540℃时,345MPa;1300℃时,172MPa。:428MPa。,碳化硅涂层在37%HCL、98%H2SO4、65%HNO3或HF-HCL混酸等溶液中,涂层均无影响。在NaOH和KOH溶液中,涂层无影响。而在温度450℃下,熔融NaOH和熔融KOH中碳化硅涂层会严重损害。、500、600、700、800、900、1000℃下,抗热震次数分别低于20、16、12、8、5、3、1次时,可判定该样品热震测试不合格。,。磨损机参数设定为载荷100N,试验机转速100r/min,。磨损机使用SiC砂轮片,磨损半径35mm。,维氏硬度应高于2500,洛氏硬度应高于85。