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基于dsp技术的真空镀膜机检漏仪的研制(可复制).pdf

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基于dsp技术的真空镀膜机检漏仪的研制(可复制).pdf

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基于dsp技术的真空镀膜机检漏仪的研制(可复制).pdf

文档介绍

文档介绍:首研专勿亨±基于际醯恼婵斩颇せ炻┮堑难兄摘要学科:精密仪器及机械研究生签字:指导教师签字:检漏仪是真空镀膜机泄漏检测中必备仪器。本文以超声法为依据,提出了~种以为核心的泄漏检测技术。实现了真空系统泄漏检测的自动化。论文主要完成以下研究工作:检漏仪系统硬件设计。首先,以胀ㄐ统ùǜ衅鞯男阅懿问R谰荩成信号预处理电路的设计;其次,利用高精度疍对泄漏超声波信号进行模数转换;然后,利用迪至硕孕孤┏藕诺牟杉恚蛔詈螅ü鼶的疧端口控制液晶显示和报警,对被检系统泄漏情况给与提示,同时提供了通信接口,便于数据的输出分析。检漏仪系统软件设计。主要包括信号采集、数字滤波、快速傅立叶变换及校正、系统报警和液晶显示五个功能模块。在信号采集模块中,完成了模拟信号到数字信号的转换及采集;在数字滤波模块中,通过带通滤波算法,去除噪声干扰;在快速傅里叶变换及校正模块中,利用时域基惴ㄊ迪挚焖俑道镆侗浠唬帽戎捣ㄊ迪制灯仔U孤┏与环境噪声区分开,完成泄漏检测;在系统报警模块中,通过对腎/柚茫迪报警控制;在液晶显示模块中,仍通过腎/刂疲韵低承孤┣榭龈柘允尽本文给出了检漏仪系统设计及实现的全过程。实验结果表明,选择高精度高稳定性的仪表放大器G岸诵藕糯恚档推骷扇牛竺嫘藕诺牟杉砑跎倭死难;通过傅立叶变换及校正进行信号频域分析,可以有效的去除各种外界干扰,将信号检关键词:超声波;泄漏检测;快速傅立叶变换;频谱分析测出来。
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髀本文研究的目的和意义腞褪且恢止δ芮看蟮募觳夤ぞ撸宦酆卫嗔魈宀孤检测技术发展概述在现今的工业上有很多设备及仪器具有真空系统,设备或仪器长期使用,其真空系统难免会出现泄漏现象,这不仅影响设备及仪器的正常工作,还可能会引起不安全事故的发生,因此,及时检测出真空系统泄漏情况成为安全生产的重要保障。检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法【,利用这些方法所设计的一些常见检漏仪器有:氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪等等,这些检漏仪器性能稳定,灵敏度高,可以较为精确的测出漏气的位置及漏气量的多少,但缺点就是大多价格昂贵或者操作方法不易掌握使得使用不方便。很多情况下会采取这样的方法来进行系统泄漏情况的检测:用针灌满乙醇向真空系统连接口处喷,并观察真空计的指数,有变化则表明此处漏气,这种方法所需花费少,但检测的灵敏度不高,所能测量的范围也有限,基于以上的原因,一种价格适中,操作简单,而且灵敏度也较高的检漏仪器也越来越成为现代工业发展所需求的,而本课题在这样的形式下提出,有很强的及研究发现,当真空系统或压力系统出现泄漏时,在漏孔附近会产生泄漏噪声,这个泄泄漏检测技术。此泄漏噪声信号微弱,而在工业现场中,环境噪声又不可避免的存在着,使得有效的实现对此信号的采集和分析,从环境噪声中分辨出泄漏噪声信号成为了本检漏仪研制过程中主要要解决的问题,从而提出了利用际踅行藕牌灯追治龅姆桨咐现在市场上已有超声波检漏仪出现,例如:美国生产的数位式超声波故障检测器都能检测到,泄漏越严重,信号越强,尤其适合于饱和气体、多种气体、压力容器、真空处理等应用场合【。但此类进口超声波检测器价格还是相当昂贵的,市场上同类的国产超声波检漏仪少有见到,所以超声波检漏仪还是未能广泛推广使用。本课题以系统泄漏会产生含有超声波段的泄漏噪声为机理,研制出一种抗环境噪声干扰能力强、灵敏度高、成本低、操作方便实用性强的超声波检漏仪。超声波检测技术是一种重要的无损检测技术,由于它的穿透能力强,对材料和人体无真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。检漏方法有很多种,根据被时性和实用性。漏噪声频带较宽,达到超声波段。根据泄漏噪声这一特性,如果在系统周围检测出泄漏噪声的存在,就可以判断出真空系统或压力系统是否泄漏,因此超声波检测技术成为了一种进行设计。
损害,使用方便等特点,通常用作改进产品质量、产品设计、加工制造、成品检测以及设备服役的各个阶段和保证机器零件的可靠性和安全性上。尽管它本身并非是一种生产技术,但其技术水平能反映该部门、该行业、该地区甚至该【。无损检测技术之所以受到如此重视,是和它在国民经济中体现出的社会效益和经济效益分不开的。它的社会效益主要体现在保障设备安全可靠,提高使用寿命,减少和避免重大事故方面。近年来,世界上发生的多起重大恶性事故,如铁路断轨,火车翻车,蒸汽阀爆炸,石油液化气储罐爆炸等等,直接涉及重大的经济损失和人身安全,这些事故都是可以利用无损检测技术得以避免的。无损检测技术的经济效益表现为直接性的和潜在性的。直接性经济效益是指在生产过程中通过降低成本、提高成品率和劳动生产率而取得的,它容易被人们重视。例如无损检测可改进钢材的制造工艺,可节省费用并提高质量,经

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