文档介绍：超纯水设备在各大行业的应用
在半导体产业中,超纯水被用在晶圆的清洁和蚀刻上。尤其是晶圆残渣,它是造成晶圆工厂中超纯水大量消耗的主要原因。在制药产业中,高纯度的水可以做为产品的成分之一,也可以在生产加工中使用。洁净室洗烫业尽管只占整个超纯水市场的一小部分份额,但是在洁净室市场中,他们却是超纯水的一个主要用户。其他对超纯水有使用要求的产业领域包括液晶显示器、生物技术以及实验室业务。下面介绍下超纯水设备在各大行业的应用。
超纯水是将市政用水在现场提纯,减少其中的污染物浓度,例如,溶解固体和离子,特别是导致水质过硬的成分,如钙和镁等。
一个典型的200mm晶片厂每个月生产近40,000个晶片,天天需要2-3百万加仑水,其中百分之七十的水用来生产超净高纯水(UHPW),这也是晶圆清洁处理的一部分。这些水大部分都被循环再利用,或是回收后用于工厂的其他领域。大约百分之二十的水用做其他非超净高纯水的用途,例如用于冷却塔和热交换器。剩下百分之十的水用在工厂中与加工过程无关的部分,例如,草地、盥洗室和洒水系统。
制药业使用的注射用水(WFI)是经过进一步提纯的,用于医学产品和制药洁净室的清洗(CIP)。WFI水是通过蒸馏或反渗透得到的。
洁净室洗烫业开发出了很多不同的衣服清洁方法,用来处理被人体的油污、污垢、棉绒以及化学着色污染的衣服,只留下非常少的表面残留物。这些开发大多数都是有专利的,尤其是水(或溶剂)抛光、洗涤用的化学药品和配方。其它的进步是由于洗烫环境发展到了现代洁净室水平而出现的。穿整套洁净外套的工人、经HEPA过滤的房间和干燥的空气、不易脱落的房间和工作表面、隔离式洗衣机(BARRIER WASHER)、封袋机以及在处理和传输过程中对衣服的保护,都对洁净室服装的质量产生影响。洁净室洗烫最基本的要求是,他们的清洁设备要和使用服装的洁净室的清洁设备一样好或是更好。这就必须使用高纯度的水。
典型的半导体产业超纯水系统包括反渗透、离子交换、控制仪器、除气设备、过滤设备、水泵、阀门、储存、管路和消毒。超纯水系统的每个组成部分都一直保持高度的纯洁是至关重要的。