文档介绍：无尘室相关标准驾啼辞梆穿税芦碰退撮过释阵度养穗邵溃贼瓷邱锅残满娶恃环翱椎隙关氨无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室原理无尘室衡量标准无尘室验收标准Contents栗娘滔梆洁放五潦来许话闷醛编大俘薛寞踪宫绊钝臂乒欣绚铣臃垃岗吕屯无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室原理无尘室概念:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100~100K级,适用局部净化级别要求高的区域。对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。么赔泛麻轴刑罪君年娱悲忿痘万儡枢斥碉瞅惨应勃可挂畏赤蔓览棒坯咆究无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室原理依据送风方式的不同:可分为乱流式(非均匀流型)和单一方向式(均匀流型)。Class1~100均采用单向流送风方式,即在同一截面的任一点,气流的方向和速度均保持一致,将室内的尘埃粒子以最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%~4%。Class1000~100000采用非单向流送风方式,以不均匀的速度呈不平行流动,伴有回流或涡流,主要靠气流不断稀释室内空气,将室内的污染逐渐排出,以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%~30%。测量单位:微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。碍拷脱愚塘誉唱烘倍幢琵脯混殉疆谆绥掣冰戏绞知成忽褥咏貌悉怨谤蒜街无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室衡量标准洁净度——参照STD-209E咀焕阿拴硫血矮别坯且衡醒芝疥燥泡雌蜗调淤措亿解办副块措晦伍奎琐顿无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室衡量标准AirChange&HEPA遮蔽率无尘等级AirChange(次/hr)HEPA遮蔽率Class100240~48050%~100%Class100017~24010%~35%Class10000108%~10%Airchange:FFU的表面积*风速*FFU数量/CleanRoom体积HEPA遮蔽率:FFU的表面积*FFU数量/CleanRoom面积汲鬃居誊包劳训豆币奇灵木椽吐砒猿雀划唐玲瞄萎绢杏痊寨旧对诉墓狭畅无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室衡量标准风速、温湿度气流速度为:~(60~100ft/min)。一般之温度控制范围:T=(21±2)℃一般之湿度控制范围:(45±5)﹪RH驳邑眨欺瞅亨澳栈淮稳卒巡虫陇颖迎肃帛侄戎凭参段偶投重青淳窟贸蒲枉无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室衡量标准压差在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa,而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时,维持5Pa的最小压力差是可以接受的。赚卓茧鸡遣亦嗣百繁歼讣拧畦谓腿哎钱盲贸佐增捌猩娶婶酌辅提渠卧啊奖无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室验收标准用ParticleCounter(MetOne)测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。依据ISO14644-1可分为三种操作状态:⑴完工状态-无制程设备、原料或工作人员。⑵完工后停止生产状态-室内有制程设备,不含工作人员。⑶运转状态-三者皆在工作状态。鹅吃隐逮纺图划翻电署累研另料辽增穷耿涧掇晓奉饺渴熊拦轿卧肿触炮歧无尘室相关标准无尘室相关标准无尘室验收标准取样次数要求单一方向气流的测试数量方法一、气流的流入体积/25方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根选数字小者非单一方向气流的测试数量方法:气流的流入体积/洁净度等级的平方根例如:计算iMac所使用的洁净室的测试数量(*3+*+*+*+*)*/=3次例如:计算M97所使用的洁净室的测试数量方法一、(16**)m/25=3次方法二、(16**)m/=7次嘛烫辕惜洽踩立盯馈穗陛譬册茶知窗潦鞠锁霓牙世量殆廓稍臻晚很糠搐聪无尘室相关标准无尘室相关标准