文档介绍：该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,,220V/380V,,.气压::(一),,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1),设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.(2).在执行开机程序以后a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,,设备将回到开机状态.(3)a在执和行真空程序之后,当按下取件钮,,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,::总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;,:-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点.(1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上)IX=0-=0-±(2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选.(3).扫描电流:IX=IX±=IY±(4).扫描频率:1-20HZ可调.(5).失偏保护(只对X线圈而言):,电源输出一对常开触点,:(1).接上枪灯丝,-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200VI~约等于0~(2).具有过流,:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,:为保证本电源正常可靠工作