文档介绍：扩散炉结构简介CONTENT1、设备基本构成2、炉体部分3、Loadstation4、Gascabinate5、控制及监控系统基本构成—centrothermCentrotherm扩散炉机台主体由装载系统,TGA,炉体部分和气源柜四部分组成。其各部分功能如下::用于将上料台上的石英舟及未扩散硅片送入炉内,以及将扩散完成的硅片传送到上料台。(ToxicGasExhaust):用于驱动炉门,吸收在进舟和出舟过程中可能泄漏出来的有毒气体。:机台的核心部分,由五个炉体及相关的电源系统和控制系统组成。:用于提供扩散工艺过程所需的各种工艺气体,以及将扩散过程中产生的尾气通过酸排风系统排出。炉体部分—centrotherm炉体部位包含炉体,控制柜和电源柜三个部分。炉体部位包含五根炉管,控制柜里面包含着负责工艺程序执行的CESAR电脑,CMS和温度控制器,电源柜负责供给整个机台所需的动力电源。控制电脑(puter)-RM(CentrothermCellControlRecipeManager),用于对CESAR电脑进行集中控制。CMS(centralmachinesafety),错误监视单元,用于监视炉内,炉外,炉体及电路的温度和冷却系统的工作状况,并将结果显示在CMI电脑用户界面上。电脑CESAR控制电脑温度控制器CESAR控制电脑(每个炉管有一个):其作用为:创建或更改recipe,定义recipe变量(工艺时间,温度,压力,气流),start,stopandcancelrecipe,数字控制温度,控制气流,装载机组参数设置,与装卸系统进行通讯,监视报警/中断状况(气流,温度,压力),通过级联控制器控制温度,通过级联温度控制进行自动拉温,存储一定数量的recipe,记录用户定义的工艺数据,对正在运行的工艺进行测试(执行工艺步骤,更改变量,设置/重置停止点等)温度控制器(每个炉管有一个):采用REG97温度控制器,硬件部分由controller,transducer,pulseskippingunit组成。控制柜动力柜UPS电源炉体电力配置箱,变压器动力柜,控制柜,炉体与变压器分布SpikeTC温度测量模块SpikeTC供电超温监控CMS(机器安全系统)冷却水管接口冷却水管接口SpikeTC炉体情况接线柱