文档介绍：扫描电镜介绍扫描电镜显微分析、电子探针概述电子与固体试样的交互作用扫描电镜电子探针概述电子探针是电子探针X射线显微分析仪的简称,英文缩写为EPMA或EMA(ElectronprobeX-raymicroanalyser),扫描电子显微境英文缩写为SEM(ScanningElectronMicroscope)。这两种仪器是分别发展起来的,但现在的EPMA都具有SEM的图像观察、分析功能,SEM也具有EPMA的成分分析功能,这两种仪器的基本构造、分析原理及功能日趋相同。特别是现代能谱仪,英文缩写为EDS(EnergyDispersiveSpectrometer),也有人写为EDX(EnergyDispersiveX-raySpectrometer)。EDS与SEM组合时,不但可以进行较准确的成分分析,而且一般都具有很强的图像分析和图像处理功能。由于EDS分析速度快等特点,现在EPMA通常也与EDS组合EPMA和SEM都是用聚焦得很细的电子束照射被检测的试样表面,用X射线能谱仪或波谱仪,测量电子与试样相互作用所产生的特征X射线的波长与强度,从而对微小区域所含元素进行定性或定量分析,并可以用二次电子或背散射电子等信息进行形貌观察。是现代固体材料显微分析(微区成份、形貌和结构分析)的最有用仪器,应用十分广泛。电子探针和扫描电镜都是用计算机控制分析过程和进行数据处理,并可进行彩***像处理和图像分析工作,所以是一种现代化的大型综合分析仪。据2003年不完全统计,国内各种型号的电子探针和扫描电镜超过2000台,分布在各个领域。电子与固体试样的交互作用一束细聚焦的电子束轰击试样表面时,入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用,并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息,有:二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子等。样品入射电子Auger电子阴极发光背散射电子二次电子X射线透射电子各种信息的作用深度从图中可以看出,俄歇电子的穿透深度最小,一般穿透深度小于1nm,二次电子小于10nm。二次电子入射电子与样品相互作用后,使样品原子较外层电子(价带或导带电子)电离产生的电子,称二次电子。二次电子能量比较低****惯上把能量小于50eV电子统称为二次电子。二次电子能量低,仅在样品表面5nm-10nm的深度内才能逸出表面,这是二次电子分辨率高的重要原因之一。背散射电子背散射电子是指入射电子与样品相互作用(弹性和非弹性散射)之后,再次逸出样品表面的高能电子,其能量接近于入射电子能量(E。)。背射电子的产额随样品的原子序数增大而增加,所以背散射电子信号的强度与样品的化学组成有关,即与组成样品的各元素平均原子序数有关背散射电子的信号强度I与原子序数Z的关系为式中Z为原子序数,C为百分含量(Wt%)。