文档介绍：南开大学
硕士学位论文
声表面波气体传感器的实验设计与研究
姓名:廖继平
申请学位级别:硕士
专业:光学
指导教师:赵启大
20090501
摘要统。具有独特的优点,设计结构灵活,对电、热、力、声、光、化学及生物等等科学领域。具有抗干扰能力强、灵敏度高、检测范围线性度好、测量重复性好等优点,其采用集成电路中的平面工艺制作,可实现集成化、智能化,使得社会效益,目前国内关于宕ǜ衅鞯难芯咳匀辉谘芯拷兄小本论文主要基于国家自然科学基金资助项目,新型多通道声表面波气体传感器研究和天津市科技发展计划一科技攻关项目,多通道声表面波为研究对象,构建了声表面波气体传感系统。主要介绍了传感器的发展,进而详细分析声表面波传感器的理论,发展情况;对声表面波传感器件的制作理论,重点研究了几种晶体,薄膜,气体之间的相互影响关系,包括石英、吸附气体后对频移的影响机理;选取了一定的薄膜材料,并进行实验制作,对并且在原有文献和数据中,在针对传统声表面波气体传感器检测方法单一方法,将频率检测和幅度检测统一在一起,形成更加科学的检测方法。对同一包括不同薄膜,气体,湿度,温度下,绘制出符合理论仿真的特性曲线。关键词:声表面波,传感器,敏感薄膜,气体检测声表面波,气体传感器是一种新型的传感系多种因素敏感,并且涉及表面波理论、器件工艺、薄膜理论、电磁、检测技术声表面波传感器体积小、重量轻,携带方便,成本低,并且具有重要的经济和化学传感器的研制认钅空箍Q芯浚陨砻娌ùǜ屑际包括基底材料、叉指换能器等参数设计都进行了详细的介绍和建模,制作出适合声表面波气体传感器的声表器件。晶体;二氧化氮,一氧化碳,氢气;酞菁酮,氧化铟,等。分析了不同的气敏薄膜飨蛲跃挡牧稀⒔鹗舻嫉绫∧ず徒鹗粞趸锇氲继灞∧宕ǜ衅髦谱骱头⒄褂幸欢ǖ闹傅家庖濉的基础上,结合文献中的要点,总结设计制作频率和幅度双项检测电路,调制种气体,检测方法更加合理,精确。最后对声表器件进行实验,得出符合理论的实验结果,并且在不同的条件,
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作者签名:穆。蚴。《户五帝\盎幺砧传趔留西爰渔;星叶多日期:阥月≥作者签名:段矶蚴南开大学学位论文电子版授权使用协议学号:松椤瓺本人完全了解堡直珏去堂图盅垡差王握在:僮旦堂焦诠塞的笪理壶法滏。同意》系本人在南开大学工作和学习期间创作完成的作品,并已通过论文答辩。本人系本作品的唯一作者谝蛔髡,即著作权人。现本人同意将本作品收录于“南开大学博硕士学位论文全文数据库1救顺信担阂烟峤坏难宦畚牡缱版与印刷版论文的内容一致,如因不同而引起学术声誉上的损失由本人自负。南开大学图书馆在下述范围内免费使用本人作品的电子版:本作品呈交当年,在校园网上提供论文目录检索、文摘浏览以及论文全文部分浏览服务畚那。公开级学位论文全文电子版于提交旰螅谛T巴显许读者浏览并下载全文。注:本协议书对于“非公开学位论文’’在保密期限过后同样适用。虢ù诵槭樽岸┯诼畚氖滓,
学位论文作者签名:朝似奇川年拢日南开大学学位论文版权使用授权书本人完全了解南开大学关于收集、保存、使用学位论文的规定,同意如下各项内容:按照学校要求提交学位论文的印刷本和电子版本;学校有权保存学位论文的印刷本和电子版,并采用影印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文;学校有权提供目录检索以及提供本学位论文全文或者部分的阅览服务;学校有权按有关规定向国家有关部门或者机构送交论文的复印件和电子版;在不以赢利为目的的前提下,学校可以适当复制论文的部分或全部内容用于学术活动。经指导教师同意,本学位论文属于保密,在年解密后适用本授权书。指导教师签名:学位论文作者签名:解密时间:年月日各密级的最长保密年限及书写格式规定如下:
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第一章引言第一节传感器及声表面波传感器的发展概述传感器是用来探测外界物理性质,按照一定的规则转换成我们已知并且可面工艺和技术的进步,在各个行业的运作过程中,对外在量确定性的要求是愈其中声表面波气体传感器是一种比较新兴的传感技术。声表面波始于一种声表面波技术的形成,利用在压电介质中传播的声表面波,对电信号进行处理。声表面波在年被发现以后,在超声学领域中,在延迟线等类型的制作和表面缺陷的检测【康确矫妫训玫揭欢ǔ潭鹊难芯亢陀τ谩】的论文,首次提出了声表面波。而且