文档介绍：分类号 TB303 学号 09030091
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工学硕士学位论文
基于体硅工艺的 MEMS 疲劳试验装置设计、
分析与制备

硕士生姓名闵崎
学科专业机械工程
研究方向可靠性试验与评估
指导教师陈循教授
陶俊勇副教授

国防科学技术大学研究生院
二〇一一年十二月
基于体硅工艺的
MEMS
疲劳试验装置设计、分析与制备

国防科学技术大学研究生院
Design, Analysis and Preparation of Test
Device for Fatigue Analysis of MEMS Based
on the Bulk Micromachining

Candidate:Min Qi
Advisor:Prof. Chen Xun
Associate Prof. Tao Junyong

A dissertation
Submitted in partial fulfillment of the requirements
for the degree of Master of Engineering
in Mechanical Engineering
Graduate School of National University of Defense Technology
Changsha,Hunan,
November,2011
独创性声明

本人声明所呈交的学位论文是我本人在导师指导下进行的研究工作及取得的
研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其
他人已经发表和撰写过的研究成果,也不包含为获得国防科学技术大学或其它教
育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何
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学位论文题目: 基于体硅工艺的 MEMS 疲劳试验装置设计、分析与制备
学位论文作者签名: 日期: 年月日

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学位论文题目: 基于体硅工艺的 MEMS 疲劳试验装置设计、分析与制备
学位论文作者签名: 日期: 年月日
作者指导教师签名: 日期: 年月日
国防科学技术大学研究生院硕士学位论文
目录
摘要............................................................................................................................... i
ABSTRACT ..................................................................................................................... ii
第一章绪论.................................................................................................................. 1
课题背景与意义.............................................................................................. 1
国内外研究现状.............................................................................................. 2
硅微结构疲劳失效机理研究现状........................................................ 3
片上试验装置研究现状......................................................