文档介绍：西北工业大学
硕士学位论文
MEMS核电池的能量转换结构设计与制备工艺研究
姓名:孙磊
申请学位级别:硕士
专业:机械制造及其自动化
指导教师:苑伟政
20070301
有效面积为×的能量转换结构表面,,开要摘/琟,/罴呀嵘钗岬。琑唤瞿芰棵芏扔写蠓度提高,而且工作原理也区别于传统核电池。性同位素几个部分胺氐脑怼流计算公式的基础上对电池性能仿真得到了能量转换结构的最佳掺杂浓度其次,对同位素电池的主要制备工艺进行了研究。采用剥离工艺来完成电极当的涂胶光刻以及显影方法,得到了良好的掩模剖面形貌,。同时,流控制;工艺精确控制结参数以及未来新的研究方向复合结式同位素电池等。关键词:同位素电池,辐生伏特,能量转换结构在电子产品飞速发展的今天,微能源须满足体积小、重量轻、寿命长的要求。新型同位素电池本文首先介绍了同位素电池的基本结构╬帷⒌缂⒌缍魄⒎派针对传统同位素电池的倒三角直槽型或倒金字塔型能量转换结构表面积较小和工作状态不稳定的缺陷,提出了一种垂直侧壁方孔阵列型的新型能量转换结构,并引入电镀这一新型的接触方式。它将现有的能量转换结构的比表面积增大ィ备纳屏送啻澄⒌绯氐墓ぷ魑榷ㄐ浴T诮⒘送凰匚⒌绯氐牡以及用于电镀放射源薄膜的金属区。工艺中选用怨饪探海捎昧耸改形的步骤被省去,实验剥离得到竦慕鹗舨恪实验证明,能量转换结构的结特性以及放射源集成方法与剂量是对同位素电池影响最大的因素。其结果是,活度为姆派湓赐ü糠蠓ḿ稍在后续的实验中证明,随着源活度的逐步增大,电池的短路电流几乎成线性增大。在此基础上,提出了一些值得深入研究的问题:能量转换结构的结漏电西北工业大学硕十学侥论文摘要
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’妒拍侈目砷年州.,钼,麴。≯。墨熟指导教师签名:家睿海内浚璈西北工业大学学位论文知识产权声明书学位论文原创性声明蓥本人完全了解学校有关保护知识产权的规定,即:研究生在校攻读学位期间论文丁作的知识产权单位属于曲北等搜АQS腥ūA艟蚬矣泄夭縄、昊顾徒宦畚牡母印什利孔影妗1救嗽市砺傥谋徊樵暮徒柙摹Q?梢越ū狙宦畚牡娜ú炕虿糠帜谌荼入有关数据库进行检索,可以采,影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位沦文。同时本人保证,毕业』芙岷涎ж畚难芯靠翁庠僮吹奈恼乱宦勺⒚髯髡叩ノ晃猵惫ひ人学。保密论文待解密后适川本声明。学位论文作者签名:秉承学校严谨的学风和优良的科学道德,本人郑重声明:所璺交的学位沦文,是本人在导师的指导醒芯縭魉〉玫某晒>∥宜#闹蠰经注明引腏』茅¨致聓的地方外,本论文不包含任佃其他个人或集体已经公开发表或撰’弓过的研究成果,包含本人或其他己中请学位或其他川途使川过的成果。对本文的研究做山重要贡献的个人年¨集体,均已在文中以明确方式发明。本人学位论文与资料若有不实,愿意承担一切相关的法律责任。学侮论文作者签名:
,,特大规模集成电路技术的发展一直遵循着“摩尔定律”。与此同时,辐生伏特技术及其产品也正在向我们走来,已经成为我们生活中不可或缺的一部分了。作为信息时代的重要支柱,辐生伏特技术既提供了一个非常巨大的产业,同时又为我们提供了非常多的产品‘”。.以下。对于绝缘体而言,价电子紧密地局限在其原子轨道,所以无法导电。看丰的每个原子与邻近鲈有纬晒布奂M糽允窘鸶帐犯裰械恼种四面体结构,图蛳允舅拿嫣褰峁乖诙占涞募锨樾巍T谑椅率保共价电子被局限在共价键上,不可以自由的导电。但是在较高的温度,热振动可能使共价键断裂。因此,本征半导体在室温时的电性就如同绝缘体一样,但在高温时就和导体一样具有高导电性。固态晶体材料是由原子组成的。当原子间距缩小时,每个原子中的电子就会受到邻近原子中的电子和原子核的作用,其结果是每个分立的电子能级分裂成个彼此相隔很小的能级。组成晶体的原子数蕉啵至押竽芗妒苍蕉啵级越密集。一个能级分裂后,密集的能量范围叫能带。价电子能级分裂成的能带称为价带。通常情况下价带为能量最高的能带。价带可能被电子填满,也可能未被填满。与各原子的激发能级相应的能带,在未被激发的正常情况下没有电子填入,称为空带。由于某种原囚电子受到激发而进入空带。在外电场作用下,这些电子在空带中向较高的空