文档介绍：微小型光栅光谱仪光学系统的特点与光谱分辨率的提高微小型光栅光谱仪光学系统的特点与光谱分辨率的提高第27卷,,,pp1653—1656August,2007微小型光栅光谱仪光学系统的特点与光谱分辨率的提高贾辉,姚勇哈尔滨工业大学深圳研究生院,电子与信息工程学科部,激光信息技术研究中心,广东深圳518055摘要微小型光谱仪的设计制作可以采用多种方法,其结构特点和光谱分辨率也各不相同,,分析了典型的光栅色散型微小型光谱仪采用的光学系统,如基于罗兰圆的光学系统,基于Czerny-Turner的光学系统的特点,总结了提高微小型光栅光谱仪光谱分辨率采用的方法和技术,特别是解决光谱仪的微小型化和光谱分辨率之间的矛盾以及测量光谱范围和光谱分辨率之间的矛盾的方法,;光谱分辨率;罗兰圆;Czerny-Turner光学系统中图分类号::A文章编号:1000-0593(2007)08—1653—04引言微小型光谱仪自从它诞生的那一天起,,体积小,重量轻,探测速度快,使用方便,耗能耗材少,性能稳定,寿命长,可集成化,可批量生产以及成本低廉等等,特别是它易于实现模块化,可以进行实时及多通道分析,具有现场应用价值,并且它还具有二次开发性能,,,它也存在着一些缺点和不足,,人们常说半米的光谱仪,一米的光谱仪,,光谱仪要想有很高的光谱分辨率,就要做得很大,?本文首先简短的回顾了微小型光谱仪的发展过程,,也是目前实用的光谱分辨率最高的微小型光谱仪,,微机械技术的产生以及微小光学元器件的开发成功,如微型全息光栅,D探测器等,,,概括起来可以分为两大类,一类是基于微机械技术和工艺的微型光谱仪[1],,主要包括体硅加工技术,表面硅加工技术,,如微光栅,微透镜,反射镜及光电接收单元等,同时因为集成电路也是在硅材料上制作的,,几乎采用了所有大型光谱仪的原理,技术和方法,主要有Febry—perot干涉仪原理,光栅光谱仪,二元光学技术,微滤光片技术,,准直镜,色散元件,,,:2006—05一10,修订日期:2006—08—2O基金项目:总装备部项目(51417080104HT0140)资助作者简介:贾辉,1970年生,哈尔滨工业大学深圳研究生院博士后e-mail:******@1654光谱学与光谱分析第27卷不断地产生和发展,使光谱技术产生了一次飞跃[3]:采用全息光栅,可以制作出微型平像场光谱仪;应用低噪声,D线列阵接收器,在毫秒量级可以扫描一个相当宽的光谱区,而不必移动光栅;最后运用计算机处理和显示实验数据,,就可以不用扫描机构和传统的光电倍增管及其高压电路,大大减小光谱仪的体积,同时还可使整个光谱仪固定在一起,使其坚,便于携带,进而很方便地搭建起由光源,取样固,,,很少选用复杂的光学系统,通常采用