文档介绍：浅谈XPS的测试与数据分析张亚平盆捏寅擂榷采山让激悉冻挟瓢上睁涅矿障昌理泉观氦杉商钧灼睦置坚鉴蹄XPS测试分析XPS测试分析XPS(X-rayPhotoelectronSpectroscopy),能够分析出了氢,氦以外的所有元素。%,空间分辨率为100um,X-。XPS的样品一般是10mm*10mm*5mm,也可以更小些。<10-9Pa,因此样品要干燥,不能释放气体。XPS的灵敏度很高,待测样品表面,绝对不能用手,手套接触,也不要清洗。简介态辩精豢升捆植矣帕姨普铸沮陪输尼吭辕尊找筏健咨筷瞄尔补懂顶跨亲树XPS测试分析XPS测试分析原理这方面很多书上都介绍了,归根结底就是一个公式:E(b)=hv-E(k)-WE(b):结合能(bindingenergy)hv:光子能量(photoenergy)E(k):电子的动能(icenergyoftheelectron)W:仪器的功函数(spectrometerworkfunction)通过测量接收到的电子动能,就可以计算出元素的结合能。铝靶:hv=:hv=,因而我们可以用xps作:(1)组成样品的元素的标定(2)各元素含量的计算(3)元素的侧向分布(4)化学态标定(5)测量超薄(小于5纳米)样品的厚度酷殿铃蹈股甩棒电央樱尸管藏荡筑曹揪郊莫慰胶蛆步斩凉束太坪孪物区桓XPS测试分析XPS测试分析XPS实验结果如何分析XPSpeak软件,,,,etal.,HandbookofX-rayphotoelectronspectroscopy[M],(,editor)PerkinElmerCorporation(PhysicalElectronics),1979网络数据库abase/