文档介绍:椭圆偏振法测量薄膜厚度实验的小结和心得摘要:椭圆偏振测量是一种通过分析偏振光在待测薄膜样品表面反射前后偏振状态的改变来获得薄膜材料的光学性质和厚度的一种光学方法。由于椭圆偏振测量术测量精度高,具有非破坏性和非扰动性,该方法被广泛应用于物理学、化学、材料学、摄影学,生物学以及生物工程等领域。关键词:误差、改进、小结、实验感受引言:椭圆偏振法是根据测量其反射光的偏振来确定薄膜厚度及各种光学参数。这种方法已成功应用于测量介质膜、金属膜、有机膜和半导体膜的厚度、折射率、消光系数和色散等。本实验是采用消光型的椭圆偏振测厚仪,具有简单、精度高、慢等特点。正文:1、实验目的和原理通过实验,了解椭偏法的基本原理,学会用椭偏法测量纳米级薄膜的厚度和折射率,以及金属的复折射率。椭偏法测量的基本思路是,起偏器产生的线偏振光经取向一定的1,4波片后成为特殊的椭圆偏振光,把它投射到待测样品表面时,只要起偏器取适当的透光方向,被待测样品表面反射出来的将是线偏振光。根据偏振光在反射前后的偏振状态变化(包括振幅和相位的变化),便可以确定样品表面的许多光学特性。2、实验的误差来源通过实验,我们发现本实验最大的误差是来源于对消光位置的判定。实验中,由于仪器不能完全被消光,所以消光位置的确定就显得有些困难。虽然经过多次调节光路,到最后确定位置的时候也不能确定完全消光,这会直接影响实验的精度,给实验带来较大误差。除此之外,由于本实验中,各种状态的判定均靠人眼判断,例如:样品台是否水平、消光状态、起偏器和检偏器的位置读数等,使实验存在较多的人为误差,这些都是不可避免的。3、实验的改进由上述的误差分析,我们可以知道实验的主要误差来源。对于最主要的误差“消光位置的确定”,是由于靠人眼来判断消光位置的所致的。因此,我们在实验中应该尽量避免更多的不确定因素,我们可以使光学量通过电学量来表示,即可以在仪器的末端安装一个光电接收电流表,通过电流表的读数可以直观地反映出仪器的消光状况,使得测量更加精确。虽然电流表的读数也是靠人眼来读取,但是通过这种方式会减少误差。还有一些关于次要误差的减少,例如:我们在调节载物台水平时,可以用精度高一些的水平仪,以确保我们实验的条件更加好。而且,我们应该尽量多地读取更多组数据,以便求平均值来减少误差。4、实验小结本实验是光学实验。对于光学实验,最为重要的是光路的调节,光路的调节准确与否,直接影响了实验的精度。因此,在实验前要准确调节光路,使起偏器和检偏器保持光线同轴。学****本实验中简化问题的方法。从实验原理看,本实验中,实际计算的量很多,而且需要求解很烦的超越方程。但通过适当的变换以及光学仪器的运用可/,1使问题简化。如通过1/4波片之后,光变成等幅椭圆偏振光,使得,EEipis|,|EErsrptg,,,|使得变为,计算可以大大简化。通过调整仪器,tg,,|EErsrp||,EEipis,,0,),使反射光成为线偏光,即或(),则或,,,,(,,,rprsipis,),可使问题简化。,,,,(,,ipis5、近代物理实验课的感受上完这个学期的近代物理实验课,我们大学阶段的物理实验课就结束了。这个学期的实验课,和以往一样都是那么的生动有趣。一方面是,这学期的物理实验课教学方法与上一个学期一样。在做实验之前,老师不仅要求我们课前要预****还要求我们做实验之前要小组讨论,而且要讨