文档介绍：-1-扩散工序操作规程090330版序言为更好地加强扩散设备生产与维修,保障设备开机效率以及设备完好状态,结合扩散使用说明书及车间使用经验,特制订编制本手册,以达到操作标准化为目的,同时为设备队伍的培训提供教材参考。凡操作人员必须经过培训,且熟练掌握设备操作规程,方可对设备进行操作!-2-1、目的2、适用范围3、设备及工具4、材料与工艺气体5、主要技术性能6、结构特征7、使用前的准备8、工序操作流程9、更换POCL3安全操作规程10、设备维护目录-3-11、POCL3性质和应急处理12、安全注意事项13、附图一、目的:在清洗后的p型硅片基体(硼掺杂)表面扩散磷原子,--n结。工艺原理:三***氧磷(POCL3)在高温下(860℃)与氧气(O2)反应生成五氧化二磷(P2O5),所产生的五氧化二磷(P2O5)进一步与硅(Si)反应生成二氧化硅(SiO2)和磷原子(P)。磷原子(P)在高温下逐步向硅片内部扩散,在硅片表层形成一定的浓度梯度,,最终形成一定结深的P-N结。其反应方程为:4POCL3+3O2=2P2O5+6CL22P2O5+5Si=5SiO2+4P二、适用范围:电池三车间扩散工序三、设备及工具:TEPMPRESS扩散炉和CENTROTHERM扩散炉、四探针测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、隔热头罩、取舟把手、小踏台、装卸台、垫板。四、材料与工艺气体:制绒后合格的多晶硅片,三***氧磷,氮气,氧气,压缩空气,冷却水,排风系统。五、主要技术性能:1、使用环境条件a)环境温度:0℃~40℃b)相对湿度:<55%、无凝露c)周围环境:在万级以上洁净室内2、工作条件-4-三相五线制电源,有冷却水、氮气、氧气、压缩空气源及带负压的排风系统。a)CENTROTHERM:冷却水:入口15-25度,最少65升/分钟,4-6bar,进出压差4bar压缩空气:干燥,无油,5-7bar氧气:-:2-3bar电源:3/N~380/220V50HZ160KW排风量:2000m3/hb)TEMPRESS:冷却水15l/min,4kg/cm2压缩空气干燥,无油,1l/min,7kg/cm2氮气100l/min,40psi氧气5l/min,40psi排气环境9m3/min千级净化电源:3/N~380/220V50HZ160KW六、结构特征:扩散系统A气源柜:工艺气体控制系统。外接氮气、氧气、压缩空气,内置磷源容器,为系统炉管提供工艺气体,顶部设有排风。B炉体:由保温材料——岩棉炉腔,每个炉腔外围是加热丝,内部放置石英炉管。四个炉腔的下面是炉温控制系统。顶部是冷却系统。CENTROTHERM扩散系统的总电源从炉体背面中下部接入,TEMPRESS扩散系统的总电源直接引入后边放置的配电柜中。C装载/卸载:用于卸载、装载硅片,各部分分别对应相应的炉管和炉腔。下侧内部是电路及控制部分。下方是各部分控制按钮。控制屏用于对整个系统的控制及监视。设备自带有净化系统。电阻率测试仪:由PC和四探针测试台组成。七、使用前的准备:。。。不够清洁时应该对其进行清洗。,是否可正常供应。。。八、,列成一队由上一班组长传达车间指令、8S情况、工艺情况、设备运行情况及生产情况。。生产之前,当班组员列成一列,由班组长根据当班现有人数进行调配,提醒员工要有安全意识、纪律性,布置产量任务、质量任务。,中指指尖钩住中间圆孔,起到载片盒在手中的稳固性。先观测载片盒里洗后片有无缺片现象,再看它的上表面,看有无缺口、崩边、裂纹及手印污染;然后把片盒向内侧转到45度角,查看其上角和漏出的1厘米边缘的完整性,再看同一面下角和漏出的2厘米边缘的完整性;然后把片盒复位,同时向外侧转45度角,查看其上角和漏出的1厘米边缘的完整性,再看同一面下角和漏出的2厘米边缘的完整性;然后保持位置不变,观察其整个底面的完整性,一切完好后,检片结束。注意:翻转片盒的最大角度不可超过60度。确认完硅片质量和数量后,每个不锈钢小车最多装1000片(10盒),且最上面一层最多放2个装满硅片的载片盒,要求竖向摆放,可以确保在推片途中不会滑落或掉落,下面两层可以-5-横向放4个载片盒,推车时要稳要慢,以免将载片盒中的硅片颠碎颠裂,且必须采用推的形式(中途出现意外情况可及时发现)将承运片盒的小车推至扩散间内各设备的指定位置。(一),注意石英舟卡槽为倾斜面,插片时