文档介绍：目的:使相关人员能了解无尘室环境的基础知识及无尘室管理规定,进而达成环境清净化之要求。课程大纲?认识无尘室?污染防制手法?无尘室日常管理?无尘室进出作业标准?静电防制?常犯问题点说明?7S管理制度及含义(1)微尘脏污造成ITO蚀刻(2)微尘造成TP组合异物短路(3)微尘造成IC短路(4)微尘造成IC Bonding后变形短路微尘粒子的影响?认识无尘室无尘室之演进?1958美国为发展太空科学开始作无尘室之研究?1961完成空军之无尘室规格(100000级)?1963 DEC美国联邦无尘室规格公布()?1966 209A 增加设计及测试方法等10项?1973 209B气流量及温湿度范围?1977 209B 增加1000级标准?1987 209C 增加10级与1级标准(1M DRAM问市)?1988 209D 标准?1992 209E 采取公制单位(Class M1-Class M7)构成无尘室需具备因素?能有效去除空气中飘浮之微尘粒子?能防止微尘粒子之产生?温度与湿度可以得到控制?各区域之压力可以得到调节?有害之废气可被排出?有害之废水可被排出?建物结构物与隔间具有气密?有静电防制?有电磁干扰之预防?有节省能资源之考虑设计?(Industrial Clean Room)半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天…(Biological Clean Room)制药、医疗设施、生物实验室无尘室的构造防尘室的主要结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器,用这种方式将灰尘及微子粒子去除。经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入,型成气流使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口(地板)、回风通道返回空调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。?(不带入)?防尘室保持正压(> Aq 以上)?工程管路不漏气、漏水?原物料搬入前要清洁擦拭?(不产生)?穿防尘衣?生产线自动化人员不聚集?设备发尘位置管理?(不堆积)?墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清洁?制程设备四周应留有空间?(排除)?足够的换气次数?污染源直接排出室外?空调的气流速度要适当无尘室的污染源防止四原则