文档介绍：天津大学
硕士学位论文
MgO-SiO<,2>-TiO<,2>系介质材料的研究
姓名:朱征
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:吴霞宛
20030101
摘要关键词:甋:.合低场⒏咂怠⒌徒榈缢鸷摹⒔榈缧阅堋⑻砑蛹高频介质陶瓷材料的应用越来越广泛,对它们的研究也越来越深入。在种助熔剂,从而降低瓷料系统的烧结温度,以,,和!#作为添加剂,使介质瓷料的介电损耗、电容量温度在实验中借鉴了高频介质瓷的基本组成原则,研究了基料的最佳配比和可的预烧温度、脑ど瘴露取⒋闪舷低车纳战嵛露鹊裙ひ斩源闪舷低辰榈缧馐云德饰猯类众多的高频介质陶瓷材料中,本论文选取:系介质材料为主要研究体系,研究工作的目的在于进一步改善:系介质材料的介电性能,使其各项性能指标均得到进一步优化。本论文所研究的陶瓷材料以猄何;鞠低常訸—篛,为系数、介电常数和绝缘电阻均满足实验的设计要求。提高甋,.到橹蚀闪系慕榈缧阅艿母魈砑蛹恋淖罴押浚约盎能的影响,并对瓷料样品的显微结构进行了观察、分析。经过反复的实验研究和对比分析,不断进行改进,最终确定了最佳工艺和系统的最佳组成,得到了具有低介电损耗、低电容量温度系数、高绝缘电阻的介质损耗:电容量温度系数:℃一妫馐云德饰介质瓷料,其介电性能为:介电常数:馐云德饰绝缘电阻:士/℃’≥“￡
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,也不包含为获得鑫洼盘鲎或其他教育机构的学位本学位论文作者完全了解鑫凄盘茎有关保留、使用学位论文的规定。或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发论文中作了明确的说明并表示了谢意。索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学学位论文作者签名签字日期:年学位论文作者签名:导师签名:月日
第一章绪论固体电子学的发展历程与前景展望的第十年一年,卡尔比和诺依斯各自研制成功了第一块锗和硅的集成电世纪至世纪上半叶固体电子学领域取得了一系列重大的突破一路【改昀矗傻缏芬灾抡鑫⒌缱涌萍己凸ひ邓〉玫某删褪蔷薮蟮模从小规模呦蛄舜蠊婺、超大规模,而且正向巨大规模⒄梗浯丛斓牟聘灰彩俏J廊怂苤5摹U怯捎诰骞艿姆⒚因此电子信息产业将发展成为国民经济中的支柱产业是无可争议的。电子信息产业的核心和基础就是集成电路一微电子科技工业、关键的新型电子元器件以及各种信息软件。它不仅能使生产自动化,而且将逐步达到智能化。微电子科技工业的发展将促进信息产业的飞跃,推动人类向社会信息化进军。可以预见,研制成功;二维电子气进入实用化器件和领域;高温超导新材料的发现;量子阱光电子器件的进展;超晶格材料及其物理的深入研究等等,进入年代,固体中的基本物理特性得到了迸一步揭示,特别是超薄超晶格的基本性质,多元半导体之间形成的异质结构,尤其是卜‘濉á入进行这些材料的基本物理研究将会发现一些新的特性,为固体电子学的发展提供新的基础。同时,高温超导材料、氧化物材料也是极其重要的固体电子材料领域。进一步揭示它们的物理特性将极大地丰富和发展固体电子学。从基础研究和应用研究出发,固体电子学领域内最有希望的重大科研领域年法拉第发现电磁感应,年汤姆逊发现电子,年普朗克提出量子理论,年爱因斯坦发现光的波粒二重性等。它们所揭示的一系列规律给世纪后半叶固体电子学的创新提供了坚实的基础。世纪后半叶固体电子学的创新是以集成电路、微电子为核心而进行的。特别是晶体管的发明使电子元件相继从电子管发展到半导体元件,形成了所谓的固体电子学。晶体管发明后和集成电路的出现,人类开始了社会信息化的进程。信息化的内容涉及到社会的各个方面,从生产工具的信息化、商业流通的信息化到金融、文化、教育等各个领域。信息化的核心是用信息电子的硬件和软件来改造和发展各行各业。世纪上半叶将迎来信息化的高潮时期。世纪年代末至年代中是固体电子学领域的又一个创新时期:第都是这一时期的代表口族材料,无机固体与有机电子材料之间,以及非晶超晶格等的基本性质等。深有有机固体电子学领域、超导电子学领域、纳米电子学领域和无机固体电子学一块领域等【”。第一章绪论
学、纳米显微学、纳米机械学等中应用的科学。纳米电子学与纳米物理学、发展是相互依赖和相互促进的。纳米电子学的发展将有可能导致量子计算机和量子波计算机、量子通信设将会有更令人惊奇的发现。如果说世纪是微米世纪,那么世纪将是纳米方面的电子