文档介绍：、透射电镜、电子探针、X射线衍射仪的用途。扫描电镜:利用电子束样品表面扫描激发出来代表样品表面特征的信号成像,主要用来观察样品表面形貌,也可以成成分像。透射电镜:衍射花样像(单晶,多晶结构分析);薄膜衍射成像(位错,晶粒等);复型薄膜成像(表面形貌)电子探针:主要进行微区成分分析。可分析样品中所含元素种类及含量。可进行点分析,线分析,面分析等定性分析,也可进行定量分析。X射线衍射仪:主要用于相结构分析。利用X射线衍射原理分析测定物质的晶体结构,织构及应力,精确的进行物相分析,定性分析,定量分析。,在空间点阵和倒易空间中分别画出(010),(101),(211)的晶面和相应的倒易点,并计算面间距和倒易矢量的长度。、暗场像光路图,简述其成像原理;晶界、刃形位错、螺形位错、孪晶、层错、第二相粒子成像时各有何特征。明场像:物镜光阑让透射束通过,挡住衍射束,IA~I0,IB~I0-Ihkl~0,产生衬度差异,A亮,B暗。暗场像:物镜光阑让衍射束通过,挡住透射束,则IA~I0,IB~Ihkl,A暗,**B亮。晶界:产生等厚相间条纹。刃型位错:呈线状。位错线像总出现在实际位置的一侧或另一侧。螺型位错:锯齿状双线,也是反映畸变区。孪晶:不等长度,不等宽度,明暗相间的条纹。层错:等长度明暗相间的条纹,条纹是平行间距的。第二相粒子:花瓣状,中间是无衬度的线状亮区。,解释为何入射电子束严格平行于晶体的[uvw]时,底片上也有衍射斑点出现。爱瓦尔德球用途:找到倒易点与衍射斑点的关系原因:(1)薄晶体衍射,倒易点扩展为倒易杆,增加与爱瓦尔德球相交几率(2)因θ<1°时,可近似将0附近对应球面可近似看作平面,与(uvw)0重合,增加与爱瓦尔德球相交几率(3)加速电压不稳定,入不唯一,造成爱瓦尔德球有一定厚度,操作时不可能完全重合,。(P233)相同点:高速电子束轰击样品表面,利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线,测量其λ和Ι,利用莫塞莱定律确定微区的定性、定量的化学成分。不同点:WDS分析元素范围广、分辨率高、适于精确的定量分析,对样品表面要求高、分析速度慢,易引起样品和镜筒的污染。EDS在分析元素范围、分辨率方面略逊,分析速度快、对样品表面要求不高、可用较小的束流和细微电子束,适于与SEM配合使用。波谱仪的晶体分光特点,对波长为l的X射线不仅可以在探测到n=1的一级X射线,同时可在其它q角处探测到n为不同值的高级衍射线。波谱定性分析不如能谱定性分析那么简单、直观,就要求对波谱进行更合乎逻辑的分析,以免造成错误。00(下面的表可以不写)比较项目WDSEDS元素分析范围元素分析方法能量辨率/eV灵敏度检测效率定量分析精度仪器特殊性4Be~92U分光晶体逐个元素分析高(3/5~10)低低,随波长而变化好多个分光晶体11Na~92U固态检测器元素同时检测低(160/135)高高,。二次电子成像衬度背散电子成像衬度相同点:都是电子束与样品作用时产生的信号成像,且都能成形貌像。不同点:二次电子成像衬度:原理:质厚