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薄膜厚度对该鞯嫉缒ぜ捌銵器件性能的影响文,徐韬谭,李喜峰沤ɑ’顾发学报光珽∞砌诜瞘譽淝船渺,Ⅱ嘶疵,矾摘要:采用射频磁控溅射的方法制备了该鞯嫉绫∧ぃü恿ο晕⒕、湎哐苌湟丰,印蚴顰阇,:⒒舳вΣ馐砸羌白贤庖豢杉夥止夤舛燃频仁侄窝芯苛撕穸榷杂贕薄膜性能的影响,并制备了相应的骷J笛榻峁砻鳎核孀疟∧ず穸仍黾樱∧そ峋е柿刻岣撸∧·,∧のM该鞯缂ǖ腖器件进行了测试分析,发现∧ず穸榷訪的正向电压影响不大,但对酒某龉庑视薪洗笥跋臁关键词:煌腹剩煌该鞯嫉缪趸中图分类号:文献标识码:唬琗—,瞔￡鱁增膃增啊阰眓,鯺酬№池,盺疵,吼:,上海;虾4笱滦拖允炯际跫坝τ眉山逃恐氐闶笛槭遥虾阦綽.,.琇—琙珹,黜秄Ⅱ弘￡删,,瑃鎠,..:.—;修订日期::国家自然科学基金;国家“奔苹叭手钅作者简介:顾文,男,江苏淮安人,主要从事蓝光骷礼透明电极的研究。.篏;籺:甧.,甂￡阰“
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实验峁胩致二极管推桨逑允綶等,透明导电薄膜的应用变得越来越广泛。对透明导电薄膜材料的选择也是越来越严格。最初的透明导电薄膜是金属薄膜’,虽然金属薄膜的导电性能很好,但光透导电氧化物∧鱿种笾鸩奖惶汰。牧现饕J莦虲冉鹗舻难化物。,簊研究最多,其技术也最成熟,在太攘煊蚨嫉玫搅斯惴旱挠τ谩5牵价格昂贵;有毒,、、等掺杂的嫉绫∧な艿了越来越多的关注。嫉绫∧ぞ哂械偷缱杪特别是无毒,对环境不会造成污染,使得其成为牧侠硐氲奶娲贰緇¨。和性能。一般来说,厚度较薄的薄膜表面较不平整,薄膜结晶性较差,晶粒小,晶格缺陷多,薄膜的电阻率也较高。随着薄膜厚度的增加,薄膜结晶整,薄膜电阻率也随着降低。但是,也有文献报道薄膜过厚时电阻率反而升高。∧ぃ芯加,∧さ牡缱杪手鸾ハ陆怠K窃诒∧ず现随着上层∧ず穸鹊脑黾印U灞∧さ苌浞逐渐增强,并在最大值。对于耐该鞯嫉绮牧侠此担偷缱率和高透过率是两个重要因素,而薄膜的厚度直的透明导电薄膜。通过原子力显微镜射线衍射仪⒒舳вΣ馐仪以及紫外一可见光分光光度计等手段研究了薄膜厚度对∧ば阅艿挠跋臁2迅玫嫉绫膜应用到了献魑猵—。先使用有机溶剂对氮化镓外延片进行清洗,依次在异丙醇溶液中超声清洗清洗干净。然后用%的芤涸诔N孪虑コ;乩豆釲外延片表面的氧化层。最后用去离子水清洗干净外延片表磁控溅射系统中进行,功率为ι淦瘴的方块。刻蚀设备是酰屠胱束光刻系统,∧な浅粱谕该鞑璃表面,测试薄膜相对于玻璃的透过率P酒分别为,,,,;而薄膜表面。从以上数据可以分析出∧‘、发光过率很差,又容易被氧化,所以在上个世纪末透明阳能电池、⒁壕允尽⒂谢⒐舛ü灿幸恍┤钡悖篒窍∮薪鹗簦拷仙俨⑶艺复杂,需要在高温下进行⋯。所以,寻找能够替代腡材料成为了一个迫切需求。近和高可见光透过率,加上其原料丰富,价格便宜,,