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射频感应耦合低压等离子体特性分析高鹏驴》’,;要:采用光谱诊断法和单探针法对射频感应耦合气等离子体特性进行分析。通过光栅光谱仪研究了低气压下气等离子体的光谱强度的变化特性,采用单探针法测量不同条件下电子密度和电子温度。等离子体发射光谱的光谱强度随着气压和功率的增加而增强,射频功率对光谱强度的影响较明显。当功率从黾拥保馄浊慷冉ɑ嵫杆僭黾樱壤胱犹宸⑸鶨模向的模式转换。单探针法测量的电子密度和电子温度在的变化规律符合O騂模转换的变化关键词:感应耦合等离子体;发射光谱;探针;模式转换猣·外,.,年耇文章编号:———D鲜Ψ洞笱笛橹行模阒摘规律。中图分类号:.文献标志码:珻—琒。,珻;甊:—.猵,,;;收稿日期:;修改稿日期:——基金项目:广东省自然科学基金还易匀豢蒲Щ作者简介:高鹏校幽箱懦厝恕ぱ芯可饕4邮碌臀碌壤胱犹逖芯考氨∧ぶ票福瓻—::陈俊芳。男。教授,.
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足珏密度的变化功率秸胱魑5壤胱体本身及等离子体工艺条件研究的重要手段,是行放电。用光纤将光谱仪观测窗与光栅光谱仪度的变化趋势N南譡忻枋龅壤胱犹宓气体压强等放电条件关系,当射频激发功率!!笛壤胱犹迨怯晌薜缂ǚ诺绮囊恢低气压、高密度等离子体。具有耦合效率高,电极结构简单,放电电机不会污染放电气体的特点。在材料处理方面缈淌础⒈∧こ粱,感应耦合等离子体在技术方面与传统的方法相比有明显的优势七6杂贗放电产生的等离子体,射频功率和放电气压的改变可以控制离子能量和离子密度5壤胱犹宓奶匦钥梢酝ü光发射谱和探针进行研究。光发射谱枪惴旱难芯科宸诺缣匦缘募际酰有测量简单、不干扰等离子体的特性;而发光光谱的变化规律可以反映等离子体的能量和离子一种简单、实用的低温等离子体诊断工具。根据探针的伏安特性曲线可获得等离子体密度、电子温度和空间电位等重要参数等人通过光谱诊断法和单探针法研究了等离子体的性质,分析了不同放电模式的等离子体特性,并对等离子体转换过程进行分析。诺绲墓讨谢峋街址诺缒J剑直鹗容性耦合放电模透行择詈戏诺。较低功率时,诺绻ぷ髟贓模,等离子体的产生主要是由于静电场作用,感生电场的影响很小。等离子体在O戮哂械缱用芏冉系停子温度较高的特点。当线圈的感应电场随功率的增加而增强到可以维持等离子体产生时,电子密度上升,电感耦合效率随着电子密度的增加而增加,但是电子密度的增加会使趋肤效应越来越显著,从而又降低电感耦合的效率。从而达到一种能量平衡态,称为5哪芰科胶狻6鳫模等离子体具有电子密度较高、有强的发射光谱和较低的电子温度的特点我们采用了一种圆柱形夹层容器,利用光发射谱和探针对等离子体的参数进行测量。通过不同放电气压和不同放电功率下的光谱诊断和等离子体电子密度、电子温度的诊断,我们观测到这种结构容器诺绻馄妆化特性和等离子体特性,对其变化规律进行了初步的研究和探讨。图窃仓渭胁愕壤胱犹宸⑸魇疽馔肌实验通水、通电,先由托婵毡眉癋型涡轮分子泵组合,将室内真空抽到×~。将纯度.%的气通过气体质量仪稳定在,调节射频功率源进连接起来,通过光谱仪和计算机的和部分锹挤⑸涔馄椎那慷取5壤胱犹骞馄的发光强度可以定性地表征等离子体密度,所以测量发光强度的变化就可定性表征等离子体密整体模型