文档介绍：模拟激光透射连接硅与玻璃的工艺研究及数值年苏大学江
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摘要江苏大学硕士学位论文连接和封装在制造过程中占据十分重要的地位。激光透射连接硅与玻璃作为一项新型连接技术,已经成为当前封装领域的一个研究热点。本文选择单晶硅硅片与高硼硅玻璃作为连接实验材料。采用笛设计进行科学实验并与有限元模拟相结合的方法,对激光透射连接ゾ进行了研究,研究了主要工艺参数β省⑸杷俣燃袄虢沽对熔池几何要素凵睢⑷劭砑吧羁肀的单因素及多因素交互式影响,分析了激光能量密度对激光透射连接硅与玻璃熔池成形的影响,并量化了激光能量密度与熔池几何要素之间的关系,得到了深宽比与剪切强度的匹配曲线。结果表明,当激光能量密度大于/,其剪切强度达到最大值,激光能量密度对熔池成形及连接质量有着较为显著的作用,激光透射连接硅与玻璃的熔池对连接质量有着重要的影响。采用旋转中心复合设计进行实验规划,使用响应曲面法建立了激光透射连接工艺参数与剪切强度、熔宽及熔深的数学模型,进行了方差分析、实验模型的验证,讨论了激光透射连接工艺参数对剪切强度、熔宽及熔深的交互影响趋势。运用满果与验证实验的结果较为吻合。这对提高连接质量和降低生产成本具有很好的指在产品的应用过程中,硅与玻璃是最广泛的组合材料,,使用:龀寮す馄魍ü笛槎约す馔干淞庸栌氩AУ娜鄢其次,使用:龀寮す馄鞫怨栌氩AЫ辛思す馔干淞拥墓ひ詹问优化实验。通过对分法确定了激光透射连接硅与玻璃之间合理的工艺参数范围。意度函数对工艺参数进行数值优化与图解优化,并对优化结果进行验证。结果表明,所建立的模型能够较好地反映各响应与工艺参数之间的关系,优化的预测结导意义。最后,采用有限元分析软件⒘思す馔干淞庸栌氩AУ娜传导模型,通过参数化程序设计语言编程实现了超高斯热源的动态加载,获得了透射连接过程中温度场的分布,分析了主要工艺参数β省⑸杷俣燃离焦量晕露瘸〉挠跋欤治龅玫讲煌ひ詹问楹隙匀劭砑叭凵畹挠跋臁=
激光透射连接硅与玻璃的工艺研究及数值模拟模拟结果与实验结果进行对比,发现二者趋势较为吻合,证明了砑分析模块应用于激光透射连接硅与玻璃温度场模拟的可靠性,为有限元法进行激光透射连接工艺参数优化奠定了良好的基础。关键词:,激光透射连接,响应曲面法,硅,玻璃,熔池,工艺参数优化,温度场
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目录江苏大学硕士学位论文第一章绪硅与玻璃的传统连接方法及优缺点⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..魇康缱酉晕⒕怠.⒒刂频缱油蚰苁匝榛论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.す馔干淞庸栌氩AУ挠湃钡恪国内外激光透射连接硅与玻璃的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.庋芯肯肿础课题研究意义及主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯一:.
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