文档介绍：东华大学硕士学位论文纳米多孔硅光波导器件的制备及其特性研究申请学位级别亟±学科专业名称笠离壬佳塑堡姓名论文提交日期分类号学校代码学号贏·
㈣谬兹加菽月日东华大学学位论文原创性声明本人郑重声明:我恪守学术道德,崇尚严谨学风。所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中己明确注明和引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品及成果的内容。论文为本人亲自撰写,我对所写的内容负责,并完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名:日期:
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纳米多子韫獠ǖ计骷闹票讣捌涮匦匝芯摘要多孔硅己成为光化学、生物传感器的理想材料。这是因为多孔硅材料具有大导体折射率修正模型对多孔硅的折射率进行了分析。研究了多孔硅的折射率和孔的比表面积,对化学和生物分子具有很强的吸附能力,而且纳米多孔硅对生物组织具有低毒性、共生性和兼容性,以及易于集成和微型化,以及制作工艺简单等多方面的优势。目前,已有多种多孔硅光子器件应用于光生物化学传感领域。纳米多孔硅光传感器的基本传感原理在于,吸附在多孔硅表面或渗透到多孔硅小孔里的分子与其匹配的共轭分子、配位体相结合,会引起多孔硅表面的折射率变化,从而引起传感器相应输出信号的变化。因此,研究多孔硅折射率变化和纳米多孔硅器件结构对于提高纳米多孔硅光生物化学传感器的灵敏度具有重要的科学意义。本文利用电化学腐蚀的方法制备多孔硅。并且利用P秃筒粼影隙率、腐蚀电流密度和腐蚀时间之间的关系。同时,制备了具有周期性结构的瓷渚岛腿悴ǖ肌W詈螅芯苛擞眉す庵毙吹姆椒ㄖ聘鞯哪擅锥嗫坠韫栅的传感特性。主要内容包括:肂模型计算了多孔硅的折射率,研究了多孔硅折射率与孔隙率、腐蚀电流密度和腐蚀时间之间的关系:随着孔隙率的增加,多孔硅的折射率呈线性减小趋势。而孔隙率受到腐蚀时问和电流密度的影响,直接影响多孔硅折射率。猛制遣饬苛四擅锥嗫坠枵凵渎剩⒂胗肂模型计算后经过半纳米多孔硅光波导器件的制备及其特性研究
导体折射率修正模型修正后的折射率进行比较。:无水乙醇、甲醇和丙酮作为传感介质。入射角分别为、,关键字:纳米多孔硅,折射率,瓷渚担ǖ脊庹ゑ詈掀鳎Тǜ测量结果。可知纳米多孔硅的折射率与它的掺杂浓度有一定关系。玫缁Ц吹姆椒ǎ軧条件和纳米多孔硅折射率的调控方法,通过选择合适的腐蚀电流密度,制备了折射率周期性变化的瓷渚担约三层纳米多孔硅波导层。约す庵毙醇际踔聘鞯钠矫婀庹周期为伎毡任..作为传感器,研究纳米多孔硅平面光栅的传感特性,分别采用了实验室常见的有机溶在反射光斑的第堆苌浼渡希馐粤伺ǘ任.%,%,%,ィ%,%的酒精、甲醇、丙酮的反射光强的变化。其中相同溶液以不同的角度入射后,反射光强不同。实验显示在惫馇孔钋浚得鞲霉庹ざ跃凭ā甲醇、丙酮在H肷浣鞘亲蠲舾小纳米多孔硅光波导器件的制各及其特性研究
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第一章绪论⋯⋯.⋯⋯...。⋯⋯。.⋯⋯⋯⋯..第二章纳米多孔硅的制备.⋯..⋯⋯..⋯⋯..⋯.第三章纳米多孔硅折射率的研究⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第四章波导光栅耦合器的基本理论⋯⋯⋯⋯⋯⋯目录实验步骤⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..多孔硅的形成机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..多孔硅的制各方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..多孔硅的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯光学器件⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯波导光栅耦合器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本论文研究目的及主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯电化学腐蚀法及原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯笛樽爸谩分析方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯理论部分⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯