1 / 72
文档名称:

硅基长波红外光波导器件研究.pdf

格式:pdf   页数:72
下载后只包含 1 个 PDF 格式的文档,没有任何的图纸或源代码,查看文件列表

如果您已付费下载过本站文档,您可以点这里二次下载

分享

预览

硅基长波红外光波导器件研究.pdf

上传人:2028423509 2014/5/6 文件大小:0 KB

下载得到文件列表

硅基长波红外光波导器件研究.pdf

文档介绍

文档介绍:⑧丝潋蝉选生筮盔:墨数篮缉垒兰些垄叠型:二鱼丑熬煎遣圳叁盗囵指导教师签名:答辩委员会主席:论文评阅人篲评阅人评阅入委员‘’馹●●●一.
⑧巫业。盘。区竺’’
学嚣燃笼笥鬻椴榔’新签名:/、刀挎场学位论文作者签名:/枣问碣浙江大学研究生学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书学位论文作者签名:/奎眷导师签名:签字日期:加年拢日表或撰写过的研究成果,也不包含为获得逝婆太堂或其他教育机构的学位或证本学位论文作者完全了解逝堑太堂有权保留并向国家有关部门或机构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权浙江太堂可以本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。签字日期:年多月谌将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。签字日期:甓嘣翴口
摘要玫缺壤糯笤恚治隽酥谐げê焱馇榭鱿聅ǖ计骷纳杓扑罱瞬ǔの某げê焱夤獠ǖ疾馐韵低常谑笛槭蚁钟刑跫世纪的第一个十年里,人们对大容量、高速互联网的需求极大地推动了光通信技术一一特别是全光通信的发展,而作为眒重要节点的猚绕骷匀怀晌Q芯康娜鹊悖极大的带动了集成光学器件的研究。目前应用于光通信中的集成光学器件所用光源的波长主要在近红外波段内,以V鳎坏孀叛芯康纳钊耄晒庋器件的应用也逐渐拓展到了光通信以外的范围,特别是在传感、检测、,。受限于硅本身的特性,在很长时期内没有受到研究人员的重视,不过在随后的中研究发现,可以利用硅材料具有的等离子色散效应通过改变载流子浓度调节折射率和吸收损耗实现电光调制。另一方面,由于硅基光电子器件和在工艺上的兼容性,可以借鉴半导体产业的J缴统杀荆咝阅堋商品化的硅基光电子器件。所以近年来基于硅的光开关、光调制器已经开始投入光通信的商业应用,并且不断有新的结构、更低损耗的器件报道出来。基于上述思想,本论文的目的在于::,在研究人员设计传感器时被广泛采用。利用等比例放大原理,可以由近红外波段情况下波导尺寸推导到在波长更长的中长波红外情况下波导的尺寸,并且在这一波段内波导具有更大的狭缝宽度,,。该系统由二氧化碳激光器、斩波器、衰减片、聚焦透镜、载物台、探测器以及锁相放大器等设备组成,实现了对中长波红外波段光波导传输特性的测试。、、浙江大学硕士学位论文疍
杓屏肆街殖げê焱馇榭鱿碌墓獠ǖ冀峁梗⒚鞒鍪笛楣ひ铡O却永砺关键词:集成光学、硅基光电子器件、中长波红外、等比例放大原理分析了长波红外情况下单模条件和衬底泄漏的情况,,,这两种波导的传输损耗分别为/痗..浙江大学硕士学位论文摘要
,.谢也騝.,琺,,瓹,琻琣,·畂也..瑃,瓽,:瓵—
,//,:瑀篒琺浙江大学硕士学位论文猽Ⅲ【±,—
第二章长波红外硅基光波导的理论分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第四章长波红外光波导器件的测试系统⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..基于大截面的长波红外硅基光波导⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯基于型的长波红外硅基光波导⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..杌げêê焱馇榭鱿碌墓杌鵶ǖ计裎薰囟ㄏ蝰詈掀鳌梯形支撑平台的倒梯形长波红外硅基光波导⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯大截面长波红外硅基光波导的制备工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯型长波红外硅基光波导的制备工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.梯形支撑平台的倒梯形长波红外硅基光波导的制备工艺⋯⋯⋯⋯实验工艺的总结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。光源与聚焦透镜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯探测器和锁相放大器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.
第五章基于波导的长波红外多模干涉型光功分器⋯⋯⋯⋯⋯⋯.多模干涉的原理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第六章总结与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..∞致谢⋯⋯:⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.附录⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯