文档介绍：浙江大学
硕士学位论文
基于CIGS太阳能电池的吸收层和缓冲层的研究与制备
姓名:陆静苹
申请学位级别:硕士
专业:物理电子学
指导教师:王德苗;金浩
2013-03-08
摘要捎媒ι浼际醴直鹬票噶薶、街治揎有虲∧さ绯鼗撼层。分析比较了相同功率条件下射频溅射和直流溅射对、,薄膜表面心气压强、退火温度等工艺参数对∧そ峋Ф取⒂αΑ⒂隒珿太阳能电池是一种较有发展前途的薄膜太阳能电池,是目前国际研究的热点之一。但是,这种薄膜电池在制备中,存在吸收层硒化后配比失调、薄膜结晶不良,缓冲层含以及整个制备工艺难以实现全溅射法等问题。本文主要研究薄膜电池的主要膜层~吸收层和无缓冲层的溅射法制备工艺,以期为全溅射法制备薄膜电池打下基础,论文的主要工作和研究成果如下:凼隽颂裟艿绯兀氐阊芯苛嘶浔取⒕Ц窠峁埂⒁熘式崮艽峁等对薄膜性能的影响。针对现有技术吸收层在硒化过程中极易产生籗O嘤跋毂∧ぴ裼湃∠蛞约盎撼宀愫蠧泻υK卣饬酱问题,研究用四元合金靶采用射频溅射并结合后续退火工艺来制备吸收层,以。或慕ι浔∧ぷ魑;撼宀憷粗票肝揎踊撼宀悖探索全溅射法制备薄膜太阳能电池的工艺途径。系统地研究了衬底温度、溅射功率对吸收层组织结构、化学配比的影响。采用阶段升温真空退火法和射频溅射,在衬底温度,溅射功率β拭芏任./的条件下,制备得到逶优度达珻配比为珿配比为,接近单晶的薄膜,适合于制备高效率太阳能电池,研究成果优于目前报导的水平,发表于源期刊。形貌、元素组分和光学特性的影响,深入研究了衬底温度、溅射功率、膜晶格失配度以及光学性质的影响。。无镉型太阳能电池缓冲层。在衬底温度,气压强ι涔β功率密度痗嘶鹞露。敝票傅玫窖苌浞遄钋浚峋Ф茸好的∧,退火温度敝票傅玫骄Ц袷涠茸钚〉∧ぁM币惭芯苛送嘶鹞露榷訸薄膜结晶和光学性质的影响,嫱嘶鸷骦薄膜光学禁带宽度为嘶鹞露瘸。浙江大学硕士学位论文Ⅱ
禁带宽度下降,研究成果对以后优化/熘式嵬嘶鹞露扔兄傅意义。关键词:太阳能电池、溅射法、薄膜、无镉缓冲层、浙江大学硕士学位论文摘要
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致谢一晃两年半的时间过去了,还记得第一次来实验室看着师兄师姐们坐在蓝色的小格子间里,每个人忙忙碌碌,不知所措的我还担心怎么才好融入这个集体。现在,这个集体来了更多的新人,我作为大师姐要光荣的退休了。两年多的时间,尽管不长,但是回忆很多,一页页翻开过去的日子,我越来越不舍得离开这里。首先要感谢王老师。实验室这个集体能这么温暖,也是在王老师的影响下。王老师不仅教会了我们如何科研的方法,更重要的是,教导我们做人要有的态度。两年多的时间里受王老师教诲颇多,每次他总是温和地指出我哪里没做到位,哪得了我们实验室所有人的尊敬和爱戴。还要感谢任老师,每次机器出了故障搞不定的时候,任老师总会很耐心的帮我排查。一次次地去找他,连我都觉得不好意思的时候,任老师始终是一如既往的耐心,连电脑桌的抽屉坏了修不好时去找他,他也不嫌我麻烦。实验设备出问题心情变得焦虑的时候,是任老师无声地帮助我迅速调整好心态,他始终细心、认真的态度给了我重要的支持与鼓励。要感谢顾老师,每次坐在电脑前对着文献左思右想时,耳边常能听到他爽朗的歌声,被他愉快工作的心情感染,连眼前的英文字符也变得可爱许多。顾老师是实验室的机械行家,我们要改装下设备,他总是立马放下手头的活帮我们弄。还有金老师。他是我们实验室的大管家,尽管平常和他沟通不多,但是我始终记得他认真仔细在我英文论文上写的批注,逐字逐句地帮我修改,而那段时间他还有很多工作要忙。非常感谢以上四位老师两年多以来对我的指导与照顾,遇见他们是我求学生我们的生活带来那么多的快乐,感谢小虎师兄和周剑同学两年多以来对我科研和生活上的指导与帮助,感谢李远东、杨力同学,还要感谢陪我一起做实验的文婷、小婵师妹,要感谢这段时间把我带回正常生活作息的何梅师妹,感谢和我一切参里还可以改进,时不时地提点我做事的方法。他以一颗宽容、慷慨的仁爱之心赢他给我定制的片夹非常管用。涯中最大的收获。最后要感谢实验室陪我一起成长的师兄师弟们,感谢冯师兄、朱琦、周洋给加毕业晚会的王会师妹和叶涛师弟。浙江大学硕士学位论文
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