文档介绍：薄膜太阳电池窗口层的制备和特性研究天津理工大学研究生学位论文昵胨妒垦年学科专业:微电子学与固体电子学研究方向:半导体薄膜器件作者姓名:尹振超指导教师:薛玉明朱宁分类号:密级:
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张嘏储犯:尹住趣衙蝴一州月拍学位论文作者签名:尹椎超导师辐落韶独创性声明学位论文版权使用授权书叁盗墨兰太望有关保留、使用学位论文的规定。特授权叁盗墨墨太望叁盗墨墨盘望路肴耊日签字日期:矽年签字日期:/弓年本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本学位论文作者完全了解可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编,以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复本和电子文件。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得或
摘要关键词:薄膜太阳电池窗口层∧本文的主要内容就是采用磁控溅射方法在室温条件下制备大面积窗口层薄膜,改变实验条件研究工艺参数对薄膜特性的影响,优化窗口层薄膜的制备工艺,以期改善太阳电池组件的性能。高阻翱诓悴捎蒙淦荡趴亟ι浞椒ǔ粱潭ㄑ跗财壤⒏谋工作气压研究工作气压对高阻∧ぬ匦缘挠跋欤还潭财髁谋溲气流量,研究氧分压对薄膜特性的影响。采用直流磁控溅射方法沉积掺杂∧做为低阻翱诓恪7直鸶谋涔ぷ髌购椭绷鞴β剩ü齒、вσ及透射光谱等一系列测试方法,研究功率、工作气压对篈∧ぬ匦缘挠跋臁I计一种分析方法衡量大面积透明导电薄膜均匀性饕4拥缪Ш凸庋匦苑矫,而后优化工艺条件改善篈∧さ木刃浴综合多项测试,/是影响高阻∧ぬ匦缘墓丶ひ仗跫8軨∧ぬ阳电池对高阻翱诓闾匦缘囊G螅∮霉ぷ餮骨拷洗蟆⒀鹾拷细叩墓ひ仗跫时薄膜表面平滑,颗粒细小且均匀致密,电阻率达·,平均透过率超过%。在室温条件下,随工作气压的减小篈∧ぶ性亓髯优ǘ让飨蕴岣撸以亓髯拥幕舳迁移率有缓慢增大的趋势。根据多组试验和分析,确定痵为最佳衬底走速。在直流功率⒐∧ぷ钅苈鉉∧ぬ舻绯对低阻翱诓惚∧さ囊G蟆8锰跫鲁粱左右的∧ぴ波长范围内平均透过率大于%,电阻率.·左右,并且在×面积内薄膜的均匀性较好。大面积内厚度均匀、光电特性优化的高、低阻翱诓憷谔艄馄椎耐腹光生电流的收集,能减小组件内部子电池间的差异,促进了电池组件内部互联的稳定。
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录第二章试验过程和测试手段⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第三章高阻翱诓愕奶匦匝芯俊目第一章综述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.裟艿绯胤⒄估毯陀τ孟肿础太阳电池的研究现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜太阳电池窗口层概述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯∧ぁ∧ぜ蚪椤∧ぬ匦浴本文的研究内容、目的和意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯试验设备简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..咦鑊窗口层的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.妥鑊窗口层的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯薄膜样品的制备与测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...咦鑊薄膜的制样与测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.妥鑊薄膜的制样与测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯高阻∧ぴ贑太阳电池上的作用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.氧气含量对高阻∧∧∧∧∧さ缪匦缘挠跋臁工作气压对高阻∧ぬ匦缘挠跋臁本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..篈
第四章低阻翱诓愕奶匦匝芯俊第五章太阳电池的制备和性能测试⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第六章总结与展望⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..谢...⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..发表论文和科研情况说明⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯透明导电薄膜在薄膜太阳电池上的作用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.衬底走速对篈∧ぬ匦缘挠跋臁低阻翱诓惚∧ご竺婊刃缘难芯俊功率和工作气压对∧∧⒐ぷ髌苟员∧∧さ缪А⒐庋匦缘挠跋臁厚度对篈∧∧∧∧∧ば蚊驳挠跋臁本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯