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多晶硅太阳电池新型表面光学系统的研制摘要用低成本的碱性腐蚀液制作太阳能级多晶硅片表面陷光结构,再匹配合适柿勘龋℃耄蒙璧缇和原子力显微镜给出硅片的表面形貌是类似片状的沟槽织构。用紫外可见分光光度计测试显示,~厚,折射率为~乃ú愕;杓醴瓷淠ぃ苟嗑Ч璞砻婀庋低车姆瓷渎式档%以下肴,减反射效果明显。研制出的多晶硅太阳电池片×,.。进而,对太阳能级冶金多晶硅进行表面陷光结构的研制。实验结果给出:最有效的工艺是由::::体积比,℃耄苯鸸璞砻嫘纬删鹊陌疾圩锤坑,减反射效果良好,其反射率可降低到%肴。此外,还研制新型类单晶硅片表面陷光结构。实验给出,减反射效果最好的是两步法织构:ィ矗够罄嗟ゾЧ杵砻嫦莨饨峁沟姆瓷渎饰%。关键词:太阳电池;多晶硅;冶金硅;类单晶硅;碱性腐蚀液;减反射膜;反的双层氮化硅减反射膜,构成新型多晶硅表面光学系统。由:,:先用酸液::.寤龋。腐蚀,再用碱性射率;表面形貌内蒙古大学硕士学位论文
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目录绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第糠侄嗑Ч杼舻绯匦滦捅砻婀庋低逞兄第一章多晶硅表面织构化的碱性腐蚀液研制及表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第二章多晶硅片表面双层膜的沉积及分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第三章碱性织构化多晶硅太阳电池性能分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第Ⅱ部分冶金硅太阳电池表面织构化第二章结果与讨论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第Ⅲ部分类单晶硅太阳电池表面织构化第一章实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..研究背景⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯晶体硅太阳能电池及产业化生产流程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯本课题研究意义及内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..实验材料、设备及相关测试仪器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..碱性腐蚀织构化后多晶硅片的表面形貌表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯~.】⒕图⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.嗑Ч杵钚灾够蟮谋砻娣瓷渎省实验⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯粱ú鉙。减反膜结果分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯碱性织构化后的多晶硅电池性能测试结果及数据分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..冶金硅片酸性织构化后的表面形貌表征⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⒕图⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.苯鸸杵嵝灾够蟮脑恿ο晕⒕图⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯冶金硅片酸性织构化后的反射率⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯类单晶硅片碱性织构化后的测试结果及分析桨,碱腐蚀嗟ゾЧ