文档介绍：学位论文的主要创新点一、推导计算并约化双温方程,对建立的双温模型进行模拟,得出电子晶格变化关系,讨论耦合系数、脉冲能量等因素对激光烧蚀模型的影响。二、改进双温方程,建立适合二氧化硅的烧蚀模型,数值模拟出飞秒激光加工二氧化硅的形貌特征。摘要由于飞秒激光具备高精度,低热影响区等诸多优势,使得飞秒激光与物质相互作用有着无可比拟的优势,随着技术的愈发成熟,传统的一些微纳机械加工技术将逐渐的被激光技术取代。但是飞秒激光技术还存在许多问题,一是飞秒激光与物质相互作用,加工理论模型较复杂,由于飞秒激光与物质相互作用时间极短, 宏观的很多热传导理论已不能满足研究分析。二是如何控制加工形貌,让其满足粗糙度要求。本文从理论和数值模拟对飞秒激光与二氧化硅相互作用进行研究, 论文研究内容主要包括: ,为建立合理的激光烧蚀理论与数值模型打下基础。 ,约化,计算。掌握双温方程的理论数值意义。。利用一维双温方程数值模拟其相互作用的过程。再通过建立二维双温方程,近一步研究两者相互作用的过程, 计算温度,深度以及其他参数的变化关系。 ,建立适合其加工特性的数学模型,并且模拟出飞秒激光烧蚀二氧化硅的加工形貌,讨论不同因素对加工形貌的影响。 ,激光能量,脉冲数等因素对烧蚀过程的影响,即确定相邻加工形貌的合理搭接。关键词:飞秒激光:微加工;烧蚀;双温方程 Abstract Femtosecond l弱erhas many adVantages,such ash逸h-precision粕d low-heat a丘lectedzone,makiIlg the佬仃吐osecond laSerm砒er缸eraction p盯abIe thetecllnology ismore mature,some ofthetraditio眦1 micro-and nano-machillmg tec|111【ologywill伊adually bereplaced by lasertecllr】【 problems StilIexist thisfemtosecond l嬲ertectⅡlology:first,t11e femtosecond Iaser neractillg w柚matter,the modeIs of processiIlg beillg pIe墨the Ⅱltosecondlasermatter inter孔tionthe isVeryshon,舳ny macroscopic heat conduction theoryc锄ot meet theresearch aIldanalysis needs;the second ishow to control theprocessiflg ofmorpho log弘so as tomeet theroug}mess thesisstudies危rntosecond lasersilica缸eraction丘om theperspectiVe oftheoretical 锄d numerical i11clude: on lasermaterial sur也ce and the laLsermaterial aswell the南undation亿r reasonabIe abIationtheory andnumerical肿)deI. ,reduce and calculate two—temperature model of如mtosecond laser the theory and numerical signiflcance ofdual temperature equation. “sh amathematicaI model of诧mtosecond laser matter dual temperature equation ofone—dirllensional肌mericalto siIllulateitsneraction proces