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直流反应磁控溅射在氮化的蓝宝石衬底上制备∧航璐蟊,蒋保琒一,王新建,宋李志明压,孙晓娟,陈一仁,贾辉学报红发光—琂畄,.”,琇猰,摘要:通过直流磁控反应溅射装置,在蓝宝石衬底和氮化的蓝宗石衬底撼晒χ票噶说;第卷第甇∧ぁ@脁射线衍射仪、原子力学显微镜和双光束扫描分光计,研究了蓝宅石氮化对∧そ构、应力、晶粒尺寸、形貌和光学性质的影响。湎哐苌溲芯勘砻鳎褐票傅腁薄膜具有较强的择优取向,蓝宝行衬底的氮化不仅能够改善峋е柿浚一箍梢约跎俦∧さ牟杏嘤αΑ5恰T恿ρ微镜结果表明:在蓝宝石衬底褐票傅腁薄膜的品粒大小分布比在氮化的蓝宝石衬底卜制备的∧的晶粒大小分布更加均匀。我们认为,蓝宝石衬底在氮化的过程中形成的哂泄嗟奈淮砗腿毕荩这些位错和缺陷造成了在氮化的蓝宗石衬底上制备的∧さ木Я4笮》植嫉牟痪刃浴N展馄紫示:蓝宝石衬底的氮化并没有对∧さ墓庋灾什飨缘母纳啤年鰌如,珻,,:,.发光学及应用国家重点实验室中同科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春;泄蒲г貉芯可骸1本收稿日期:;修订日期:一基金项目:固家自然科学基金资助项日作者简介:王新建,男。江苏人,主要从务光电材料甹器件的研究。:.....甌—.產瓸,篶籵;::痜.,,珻;瓽。
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