文档介绍：大连理工大学
硕士学位论文
蓝宝石和石英衬底上(Ga,Mn)N薄膜的生长和特性研究
姓名:宋世巍
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:秦福文
20090601
二茂锰魑C淘矗叽康F呦作为氮源,分别利用三乙基镓和三甲基镓作为镓源,在蓝宝石捌衬底上和石英衬底上生长薄膜。要摘稀磁半导体蚱淇梢岳玫缱拥牡绾珊妥孕匦酝崩垂ぷ鳎谛乱淮獾器件、传感器件、量子计算和量子通信器件等方面具有广阔的应用前景,尤其是琈猿椅碌腡捅镜撞牧螱可以在高温、大功率光电器件领域广泛中,的掺入会引进中间带,大大提高了太阳能电池效率。。本文采用面形貌和结构特征,利用光致发光谱表征薄膜的光学性质,超导量子干涉仪用来表征薄膜的磁性。向和纤锌矿结构,薄膜为单一相,表面形貌是由许多亚微米量级的晶粒按一致的取向规没有发现超顺磁性和自旋玻璃态,居里温度可达。在石英衬底上生长的琈∧拷仙伲实钡腡髁俊⒌偷纳室温谱测量表明低含量薄膜具有带边发射峰和一个相关的娜毕莘光峰,较高含量样品中带边发射峰消失,增加一个挠隡泄氐娜毕莘⒐关键词:稀磁半导体;电子回旋共振一等离子体增强金属有机物化学气相沉积;居里温度;室温铁磁性;琈∧应用而得到密切的关注。同时,琈谔裟艿绯胤矫嬉布ň咔熬埃利用⒃恿ο晕⒕、湎哐苌表征琈∧さ谋牡咨仙さ,薄膜含量可达ィ哂辛己玫裼湃则堆砌而成,具有一个结合能为的的浅受主,薄膜在室温下具有铁磁性,温度和较低的流量有利于提高薄膜中的含量。薄膜为多晶,有酉喑鱿帧峰,是一个浅受主,薄膜在室温下具有反铁磁性。大连理工大学硕士学位论文
琈,琈..琈·甇琈狿霱瓵瓵蓝宝石和石英衬底上薄膜的生长和特性研究,,琿琣.,.,,琤甊——
琈篋.,.,瑃。;;籖..
必学位论文题目:垂鏖幺羞塑凄垃丛燹炯謇菟媲後研日期:—塑辍!暝耲纽日大连理工大学学位论文独创性声明作者郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下进行研究工作所取得的成果。尽我所知,除文中已经注明引用内容和致谢的地方外,本论文不包含其他个人或集体已经发表的研究成果,也不包含其他已申请学位或其他用途使用过的成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中做了明确的说明并表示了谢意。若有不实之处,本人愿意承担相关法律责任。作者签名:
学位论文题目:蓬堡盈焘丕燃捍匝擦№醢燃擞。丝星丝翌年—￡月日年—厶月—笾日大连理工大学学位论文版权使用授权书本人完全了解学校有关学位论文知识产权的规定,在校攻读学位期间论文工作的知识产权属于大连理工大学,允许论文被查阅和借阅。学校有权保留论文并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印、或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。日期:作者签名:导师签名:大连理工大学硕士学位论文
髀难芯坷酚胂肿“年贝尔实验室用晶体制造出第一个电子晶体管,随后的世纪年代集成电路的发明,促使了一个新产业一半导体产业的诞生,如今,半导体已经深入到我们生活的各个方面,在我们的生活中扮演着重要的角色。在半导体产业的发展过程中,、被称为第一代半导体材料,、及其多元台金等被称为第二代半导体材料,而第三代半导体材料则是以、及其多元舍金等宽禁带半导体材料为标志。近来,以4淼蘑騃族氯化物由于其优越的性能取得了广泛的关注。蜃宓;锇ˋ、以及它们组成的多元合金材料,其纤锌矿,六方相褰峁故侵苯哟栋氲继澹蚁诵靠蠼峁根宽的范围内连续可调,如图所示,波长可以涵盖从红外到紫外一个很宽的范围,在全色显示器、高密度光学存贮相干源、数字指示器、照明器作、紫外探测器等方面发挥重要作用。同时由于基材冯;ㄎ锇氲笺⒌拇队刖з紃帛藏阴天东甀牧系拇洞大连理工人学硕士学位论文掣目
凳誉▲嚣∞黪黪嚣;歹。魄衬底上栅方法生长的墓庋枷》器叁ひ粅『。.—≥獇‰掣籗为应力释放中心。年,等又生长了掺半绝缘缱邮丈浜螅ゾАV链耍珿器件进入全面应逼凇M荊的发展历史。料具有电子漂移饱和速度高、介电系数小、导热性能好、化学和热稳定性好等特点,在高温、高频及大功率器件方面也有广泛的应用“年,热通过镓和氨气;从Γ状沃频肎粉末和小颗粒,但是由于苣焉ぃ撕笕暌恢苯共淮蟆V钡辏琈和两人们饣锲嗤庋こ龅ゾ,并利用光学吸收谱确定出拇隙N。随后在年,娶笾圃斐隽私鹗粢痪堤逡话氲继结构的⒐舛ü。随后由于晶体表面粗糙且虶难以取得,难芯恳欢扔致淙氲凸取M黄菩缘慕故加辏珹等人在低温条件下生长一层魑;撼宀悖玫搅吮砻娼掀秸腉,,也成消除了的氢钝化效应,成功获得虶,至此,困扰芯康牧礁瞿训惚