文档介绍：国内图书分类号:TQ323 工学硕士学位论文 PI/A1203和PI/Ti02复合薄膜结构与性能硕士研究生: 导师: 申请学位级别: 学科、专业: 所在单位: 答辩日期: 授予学位单位: 金荣殷景华教授工学硕士微电子学与固体电子学应用科学学院 2014年3月哈尔滨理工大学 ClassifiedIndex:TN432 Dissertation fortheMasterDegree inEngineering Structure and Properties ofPI/A1203 and Candidate: Supervisor: Specialty: Date ofOral Examination: University: JinRong Jinhua Master ofEngineering Microelectronics and Electronics March,2014 Harbin University ofScience and Technology 哈尔滨理工大学硕士学位论文原创性声明本人郑重声明:此处所提交的硕士学位论文《PI/灿203和PI/Ti02复合薄膜结构与性能》,是本人在导师指导下,在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间独立进行研究工作所取得的成果。据本人所知,论文中除已注明部分外不包含他人已发表或撰写过的研究成果。对本文研究工作做出贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式注明。本声明的法律结果将完全由本人承担。作者签名:参采日期:加彤年乒月/日哈尔滨理工大学硕士学位论文使用授权书《PI/m203和PI/Ti02复合薄膜结构与性能》系本人在哈尔滨理工大学攻读硕士学位期间在导师指导下完成的硕士学位论文。本论文的研究成果归哈尔滨理工大学所有,本论文的研究内容不得以其它单位的名义发表。本人完全了解哈尔滨理工大学关于保存、使用学位论文的规定,同意学校保留并向有关部门提交论文和电子版本,允许论文被查阅和借阅。本人授权哈尔滨理工大学可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文,可以公布论文的全部或部分内容。本学位论文属于保密口,在年解密后适用授权书。不保密团。(请在以上相应方框内打v) 作者签名:盈缸日期:≯月 f日导师签名:雕眩嗜日期:训毕年v月/日哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 PI/A1203和PI/Ti02复合薄膜结构与性能摘要聚酰亚胺是一种高分子绝缘材料,无机纳米复合聚酰亚胺具有良好的介电性能、热学性能、光学性能,它在集成电路、电力运输、航空航天、电机绝缘、医疗卫生和机械等领域有很好的发展前景。氧化铝(A1203)具有较高的电阻率和热导率,禁带宽度较大,二氧化钛(Ti02)介电性能和紫外光吸收能力较强,探讨纳米颗粒种类、组份和结构对复合薄膜性能的影响,为电介质材料的研制提供一定的依据。本文采用原位聚合法制备了纯PI薄膜和A(A1203掺杂的单层薄膜)、AS (A1203掺杂的三层薄膜)、T(Ti02掺杂的单层薄膜)和TS(TiOz掺杂的三层薄膜)四种系列的聚酰亚胺复合薄膜,采用紫外光谱、SEM和XRD对薄膜的化学结构、形貌特征和相结构进行了表征,利用介电谱仪、耐电晕性能测试装置和热失重仪等手段测试了薄膜的电学性能和热学性能,结果表明:纳米颗粒在PI基体中分布均匀,与聚合物基体复合性良好;随着纳米颗粒组份的增加,复合薄膜的相对介电常数、介电损耗和交流电导均增大,单层薄膜的介电性能优于三层薄膜,PI/Ti02复合薄膜的介电性能优于PI/A1203复合薄膜;随着组份的增加,复合薄膜热分解温度提高,电阻率和耐电晕老化时间均是先增大后减小,纳米颗粒增多形成一定的团聚现象,PI基体结构中缺陷数量变大,形成了载流子的输运通道,当带电粒子轰击薄膜表面时,很多粒子进入通道产生电流,破坏了无机纳米粒子和有机高分子链之间的结合,降低薄膜的性能。 PI/A1203复合薄膜的热性能和绝缘性能优于PI厂ri02复合薄膜,%·cm,耐电晕时间最大达到32h。综上所述,三层复合薄膜的综合性能优于单层复合薄膜,掺杂舢203纳米颗粒的综合性能优于掺杂 TiOz纳米颗粒的复合薄膜,四个系列复合薄膜中,%的综合性能最好。关键词A1203;Ti02;聚酰亚胺基;结构;性能哈尔滨理工大学工学硕士学位论文 Structure and Properties ofPI/A]203 and posite Film:llms Abstract Polyimide is a kind ofmacromolecule insulating film nanoparticles hybird polyimide hasgood d