文档介绍：⑧么趁笼么:±量茎醯答辩委员会主席:一丝氲堵赶盎盘В簂熬丝堑垄查皇处二鲴涩型厶兰堑丝叁:至一盆掐熬拽盍差论文作者签名:指导教师签名:围丝渤望盘婆数缝数控盥丝叁鲞塑缝丕究扬盟幺匾呒迨糯匀牵论文评阅人评阅人评阅人唬委员■■■■●■●■●■●■■●
』/㈣必.■蜥签字日期:,也不包含为获得逝鎏盘堂或其他教育机构的学位或加,闐弓月护逝鎏盘堂构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权逝’江盘堂本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名:签字日期:本学位论文作者完全了解有权保留并向国家有关部门或机可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、:
致谢此文完成之际,我也即将结束近三年的研究生生涯。在浙大这所美丽的校园里学习生活了近三年的时光,诸多感慨,诸多留恋,片语难表。借此机会,感谢一直陪伴、帮助和支持我的老师,亲人和朋友们。首先要感谢我的导师郝寅雷副教授,、严谨的科研态度和勤恳踏实的作风都深深的影响着我,,使我能够在科研中克服重重困难,不断前进。其次,感谢王明华教授,王老师的大家风范、气度和长远的眼光深深地影响着我。王老师渊博的知识,丰富的人生阅历,积极的生活态度及宽以待人的处事原则使我佩服不已,,感谢江晓清教授、杨建义教授、周强副教授、李宇波老师这段时间在学术上给予我的指导;感谢朱月莲老师、张国荣老师在器件工艺制作方面给我提供的经验与帮助。还要感谢郑伟伟博士、陈伟伟博士、杨冰博士、沈奥博士、向微硕士、江舒杭硕士、谷金辉硕士、肖熠硕士、王宏建同学在课题理论和实验上的指导和帮助。感谢肖思淼博士、赵勇博士、王皖君博士、魏玉欣博士、邱晨博士、喻平博士、徐超博士、董少杰硕士、郭伟峰硕士、唐树明硕士、彭志鑫硕士、张鹏硕士在我学习和生活中提供的帮助。特别要感谢郑伟伟博士和谷金辉硕士在我刚进入实验室时手把手地教会我实验工艺。感谢我的父母的养育之恩,感谢父母这么多年来对我无私的关怀和付出,没有你们做坚强的后盾就没有我今天的成绩。最后感谢评审此文的老师,
摘离分别为呻和岫;上层光波导芯部尺寸约为岫×,适合于大批量、低成本集成光学器件的制作。传统的疦离了波导之间的相互影响。然后采用疦热离子交换和电场辅助离子扩散技术本文所设计的两种结构测试结果表明,下层波导形成过程中胱釉谄淦坡采用离子交换技术制备的玻璃光波导器件具有制作成本低廉,传输损耗低,易于掺杂高浓度的稀土离子,与光纤匹配度高,环境稳定性好,以及容易在系统子交换技术得到了人们广泛的研究,成功应用于多种器件的研制与开发,如波分复用器、光功率分柬器、光放大器、激光器及光传感器等,并广泛应用与光通信与光传感领域。随着技术的发展,对器件的集成度要求越来越高。为了在同一块芯片上集成更多的器件或更多的功能,一般有两种不同的途径:一是增大折射率差减小波导尺寸,另一个就是本文所说的基于多层器件的实现。由于离子交换的特性,该技术能很好的适用于三维集成。然而要集成不同光学器件层,需要阻止层与层之间的光耦合,可以通过上下两层波导充分分隔实现。本文通过分析经典的离子交换模型,建立了离子交换三维集成的简易模型。通过对离子交换三维集成的模拟仿真,验证了多层掩埋式波导的可行性,并分析在光学玻璃基片上顺次制作了两层掩埋式光波导,形成双层波导。对双层光波导的横截面结构进行了观察,,所获得的双层光波导中上、下两层波导的中心到玻璃表面的距波导,:,导致上层波导在电场作用下的漂移速度降低,并降低波导对光的波导效应,,这种双层掩埋式光波导在玻璃基集成光学芯片的高密度集成方面具有很好的应用前景。关键词:集成光学;