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研究生签名:曼血研究生签名:谢嘭Ⅲ垄&:』坌东南大学学位论文使用授权声明东南大学学位论文独创性声明期:垄』呈』糒期:日导师签名:本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得东南大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。东南大学、中国科学技术信息研究所、国家图书馆有权保留本人所送交学位论文的复印件和电子文档,可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。本人电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。除在保密期内的保密论文外,允许论文被查阅和借阅,可以公布ǹ论文的全部或部分内容。论文的公布括刊登谌ǘ洗笱а芯可喊炖怼
摘要反应离子刻蚀ひ眨荕庸すひ罩惺褂米罟惴旱募际跏侄沃弧?7模拟软件可以降低器件设计与研制成本,缩短研发周期:并可通过改变模拟条件,如射频功率、气体压力、刻蚀温度,得到不同的模拟结果,以此来选择最佳工艺条件。局噬戏从沉朔从ζ逵肟淌床牧现涞奈锢砘Х从峁橇W有形5淖酆戏从场A子行为具有随机性,粒子数量具有一定分布规律,因此可用椒D饬W包括离子和中性粒子脑硕匦裕ㄋ俣取⒛芰俊⒃硕较蛞约傲W恿髁糠植嫉龋佣诳淌次锉砻娲Φ到准确的粒子分布,使刻蚀模拟更准确。椒ㄎ;灸D馐侄危芯靠7⒘苏攵訰工艺的模拟软件。利用流体力学模型及鞘层等效电路模型确定出鞘层的特性,包括鞘层的电压及电场的时空分布等;重点研究了离子与中性粒子在鞘层中的运动过程,并判断粒子到达表面后的运动状态,确定粒子的有效性,从而确定到达刻蚀表面并对刻蚀有效的粒子流量分布;将粒子流量分布代入刻蚀速度计算公式,求得在刻蚀表面某点处某时刻的局部刻蚀速率,利用惴ǖ玫娇淌赐夹巍?7⒌软件能够较精确的模拟反应离子刻蚀过程,能够模拟反应离子刻蚀的вΓ芄荒D獠煌淌气体、不同刻蚀材料、不同射频功率以及不同温度等条件下的刻蚀。本文首先简单介绍了刻蚀技术及椒ǎ幼偶虻ソ樯芰薓庸ぶ谐S玫母煞刻蚀工艺:然后介绍了反应离子刻蚀的常用模型以及常用模拟算法,在此基础上,总结出论文中使用的模拟模型。文中对各部分理论分析都给出了详细的算法与步骤,并对各部分结果都作了相应的解释,并且给出了模拟中的相关参数。本文采用语言编制模拟软件,并使用线算法模拟反应离子刻蚀图形。关键字:微机电系统;反应离子刻蚀;蝗砑D猓籑本文的工作以摘要
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目录摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..刻蚀技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.刻蚀模拟方法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..椒ń樯堋课题背景与意义⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.第二章干法刻蚀技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯工艺中常用的刻蚀技术⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯反应离子刻蚀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯蚀⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.【⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯反应离子刻蚀模拟的常用模型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯P汀反应离子刻蚀模拟的常用算法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。常用模拟算法简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯水平集算法⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯。.0惴╗第三章反应离子刻蚀模型⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯反应离子刻蚀机理⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯反应离子刻蚀模型及分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯模型简介⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯...<扑恪刻蚀速率影响因素⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.射频功率对刻蚀速率的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯