文档介绍：中山大学
硕士学位论文
多栅极结构场发射平板显示器件的电子光学特性模拟与分析
姓名:刘建巍
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:许宁生;邓少芝
20100610
多栅极结构场发射平板显示器件的电子光学特性模拟与分析摘要;中央栅极厚度岬;。本文结果对三栅极结构骷兄朴兄傅己筒慰技壑怠专业:硕士生:导师:微电子与固体电子学刘建巍许宁生教授邓少芝教授新型器件结构的研究,是际跹芯康闹氐隳谌荨1韭畚恼攵远嗾そ峁剐问动模式结合,模拟与分析三栅驱动骷牡缱庸庋匦浴>咛宓兀谔教三栅极结构牡缱庸庋匦约捌淝匦裕肓擞邢拊7治龇椒ǎ柚成的光斑进行计算和分析,获得栅极结构与器件电子光学特性,并确定出了三栅极结构骷姆⒐獾ピ=峁共问凸ぷ鞯缪棺钣呕桨福和干淇装刖秗关键词:平板显示,场发射,电子光学,结构模拟,有限元技术场发射平板显示現窃谘械男滦推桨逑允炯际酢的骷诘缱庸庋妇道砺郏糜邢拊7治黾际酰骷峁褂肭ぷ髟砘∩希樯芰嗽谒そ峁笷器件中引入第三栅极以降低控制栅极工作电压的方案以及三栅极结构骷⒐獾ピ5慕峁棺槌伞NA嘶竦分析软件对三栅极结构骷辛四D狻Mü改变栅极结构参数,对电极工作电压、电子发射和电子透过率、电子在阳极上形簧险ぜǖ缪筕保缱油腹饰%,阳极电子斑半径最小为摘要
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学位论文作者签名:朗建施论文原创性声明日期:畂年耭本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本文的研究作出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。
学位论文作者签名憾吨尘刀、埽麟勿四一血学位论文使用授权声明日期:沙户年翫日本人完全了解中山大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留学位论文并向国家主管部门或其指定机构送交论文的电子版和纸质版,有权将学位论文用于非赢利目的的少量复制并允许论文进入学校图书馆、院系资料室被查阅,有权将学位论文的内容编入有关数据库进行检索,可以采用复印、缩印或其他方法保存学位论文。∥月名引币羽师期导日
学位论文作者签名:却知识产权保护声明/月厂。日本人郑重声明:我所提交答辩的学位论文,是本人在导师指导下完成的成果,该成果属于中山大学物理科学与工程技术学院,受国家知识产权法保护。在学期间与毕业后以任何形式公开发表论文或申请专利,均须由导师作为通讯联系人,未经导师的书面许可,本人不得以任何方式,以任何其它单位做全部和局部署名公布学位论文成果。本人完全意识到本声明的法律责任由本人承担。日期:畂
第一章绪论随着通信技术及计算机技术的迅猛发展,显示技术作为人机联系和信息展示的窗口已广泛应用于国防、工业、航天、交通、教育、气象、卫星遥感和医疗等各个方面,显示技术已经成为信息时代不可缺少的基本技术之一,从高清晰数字电视到移动通讯设备,显示器都是重要的构件。为了获得高显示质量、形式多样化的显示器件,显示领域的研究机构和企业均投入大量人力物力开展新型显示器技术的研究和开发。在各种显示器中,传统的阴极射线管显示器具有图像高显示质量的优点,但是它又存在体积大、重量重的缺点;目前主流的液晶显示器等离子体显示器仍诮峁股夏芄蛔龅角岜』⑶宜孀偶际醯慕剑图像显示质量也在得到提高。尽管如此,新型的显示器件技术仍然是显示领域追发光型平板显示器件,是显示技术与真空微电子技术相结合的产物。墓于电子的发射和显示实现的扫描驱动方式:彩色校缱邮扇鲆跫ǚ逐点轰击而发光,如图荆辉贔中,电子是由场发射阴极阵列发出,并且每一个像素点对应着一组电子发射阴极,每一个荧光粉发光点对应着一个电子发射阴极,显示的实现采用与的矩阵寻址类似的驱动方式,因此不再需要电子束的扫描偏转系统和空间,从而实现了平板显示,如图S捎贔发光机理与允酒飨嗤虼怂涤杏隒相同的高图像显示质量;又由于梢允迪直⌒徒峁梗ň哂蠰和岷捅诠结构特点,所以被认为是一种有潜力的新型平板显示器【。求的目标。场发射平板显示器蛐次狥且恢中滦偷闹鞫作原理与嗨疲彩窃谡婵仗跫乱揽康缱雍浠饔ü夥鄯⒐狻2煌υ别发出,经过调制、聚焦和扫描偏转后打到荧光屏上,荧光屏荧光粉点被电子束
饵涩雕㈨瞳一三翳板显示技术基础知识隒工作原理比较图㈣.》⑸湓体表面真空势垒不意图,远离表面的真空能级与导体费米能级的差值定义为导体的功函数∞。曲线N尥獬∽饔孟抡婵帐评莸男巫矗诰嗬氡砻鎙垒高度就已经达到恒定值,势垒的厚度为无穷大。在有外场作用下真空势垒形状发生变化遙评莺穸燃跣∥S邢拗担叨纫蚕嘤Φ慕档汀M—蟛辔导体中电子数量婺芰康谋浠撸鹗艉桶氲继迥诘