文档介绍：天津大学
硕士学位论文
混合信号测试理论在生产测试中应用的研究
姓名:孔冰
申请学位级别:硕士
专业:电路与系统
指导教师:张雅绮
20070101
摘要关键词:混合信号测试J;黄鞑裳胫亟随着半导体制造和信息技术等相关高科技产业技术的日趋成熟,在一个芯片上几乎可以包含一个完整的系统?突Ф訧酒闹柿恳蔡岢隽烁涌刻的要求,混合信号测试技术因此变得异常复杂和重要。测试的目的是检测出有缺陷的器件并且获得改善制造工艺成品率的方法,从而降低器件的制造成本。目前,混合信号测试中模拟电路的测试成本超过制造成本的%【,令人不安的是其成本还在继续升高。自动测试设备蚱涓杂性,成本往往十分昂贵,被测芯片贏上的测试时间越长,测试成本就越高。因此在保证测试精度的前提下,缩短测试时间、优化测试方法可大大降低成本,提高生产效益。本文首先以直流参数测试为例对混合信号测试的基本测试参数和测试方法进行分析与研究,并给出了一种能够有效地减少芯片开短路测试时间的开短路测试方法。然后简单介绍了两种测试平台的系统结构和各自特点,并对基于的现代混合信号测试与传统模拟测试做了简单的对比。本文始终以提高测试效率为出发点,以问馐晕@曰旌闲藕挪试理论和测试方法进行了较为详细的介绍与研究,并基于上述测试理论与测试方法成功地实现了电源管理芯片馐云教ǖ淖;患安馐苑椒ǖ挠呕T谧换过程中,还将测试头增加到了两个,提高了测试的并行度。通过平台转换,酒纳馐允奔浯釉碈馐云教ǖ耄=档偷测试平台的秒/两粒,良品率也从原来的%提高到目前的%,通过馐远员扔隚臣结果为,完全符合测试平台转换的要求。平台转换大大降低了芯片测试时间,提高了测试效率,实现了预期的目标。
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第一章绪论弟一早珀测试在半导体制造生产中的重要地位混合信号测试发展简介混合信号测试的定义:利用各种测试方法学来测试包含模拟和数字两种电路的半导体集成电路器件【。早在上个世纪年代,集成电路都是以“混杂”的形式存在,这种电路十分难于制造和测试。传统的模拟和数字信号测试方法在测试时,由于采用低速集成电压表测试电压、低速模拟滤波器过滤待测器件氖淙胄藕拧需要计算平均值求得重复性以及利用低速的串行总线或通用接口总线协议进行设备之间通信,使得测试时间长似乎成为了一种默认的标准,结果促使这类器件价格十分昂贵。尽管这些“混杂”电路不能称为混合信号电路,但是他们却俨然成为了混合信号器件制造的先驱。到了年代中期,器件测试成本已成为生产成本的一个重要部分。除此之外,消费者也日趋追求高质量的产品,这就要求对芯片进行更加全面的测试。与此同时,随着数字信号处理际踉谛酒馐灾械挠τ茫旌闲藕测试开始变得更加快速和精确。基于际醯牟馐苑椒ǹJ嘉2筒馐曰合信号提供一种更加通用的方法。把际鹾透盗⒁斗治鲎酆嫌τ闷鹄词谴造出快速、可重复性和精确测试结果的关键所在。当今世界已进入高速发展的高科技信息时代。以半导体制造和信息技术为代表的当今高科技产业日趋走向成熟,其产品已渗透到口常生产生活的每个角落。半导体芯片的测试对保证产品的品质和客户的应用起着决定性的作用。随着芯片内的沟道越来越密、几何尺寸越来越小、厚度越来越薄,半导体制造厂生产的器件就越来越容易出现缺陷,以致经常会遇到制造低良品率的情况。客户希望购买的全部是好品,而不是好品和次品混杂的产品。囚此,半导体制造厂必须保证每一粒产品出货前ザ季细癫馐浴此外,半导体生产测试不仅仪局限在测试出好品与次品,越来越多的情况是在测试时对产品进行一些修改。比如,写入产品序列码、上传软件代码或者验
【吕一荩圜恚疽换蒥Ⅵ’灰籎混合信号测试系统的发展现状”以满足可靠性要求,最典型的是汽车电子的产品。所谓“老化性测试”证可靠性确认码等。图给出了半导体制造中会出现的测试过程【”。这里需要说明的是,本论文所指的测试ㄒ寰窒拊诜庾爸蟮牡缧圆馐最终测试话括,如疲劳测