文档介绍：
分类号TN304单位代码,10422
密级学导咖Bj
心东加不
硕士学位论文
SfandongDRipersifyMastersThesis
论文题目钵丘翼火姓肋嫂喝旦边寰奠鳞、膦}旦体铭响
崭娜泌epuL胭绥L
指导教师姓名
专业技术职务
E
妙
网颜
原创性声明
本人郑重声明所呈交的学位论文,是本人在导师的指导下,
独立进行研究所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本
论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。
对本文的研究作出重要页献的个人和集体,均己在文中以明信方
式标明。本声明的法律责任由本人承担。
论文作者签名堇圃剿一日期aale半42圣
关于学位论文使用授权的声明
本人完全了鲫山东大学有关保畔、傲用学位识文的规定,咖富学校保窄或向国家
有兴门或机杰迷交汪文的复印伯和电子版,元许论火袋梁和借阅;本人描权山东大
学古将本学伯沙文的全部咤郭分内客缉入有关数据库选行挠索,可以释影印、绮
戛其他复剁手段保存论文和汀编本学位论文。
保密论文在解密后应遮守此规定
论文作者签名呈亘氦斟一导师签名子藿璧寸骞日期%深山219
山东大学频主学位论文
目录
E
ABSIRACT
符号贵日.
第章绮论.
H椿迪、
12通明导乙茵腾的租娄及其基札特伯
121全居选明导渡
122氧化物通旷乙聘
123有机高分孔北台物通明导电薛
13AZO通明导白篇腕的明李泓
14AZ0的特性以及刹方法..
141AZ0渡膜的特性.、
.
1422浩寺镛脚..
1424化学氙相
1425胎河敲光泽
1426滨腐深放法
.
.
16研究清颜的述取.
第一章梁的刹备及测试
.
.
212渡断原理.
山东大学频主学位沙文
.
。
22测话方法及原理
221莲膝邦庞的洁坯
222八前维财XRD.。
223考面形敏的浑
224兄学念的浑挂
2241通述鞅.
2242荣腾技.
2243洪膛的绘常度
225心学颂的汞维
2251网探法.
2252蒙尔茵应。
第三章快途迥火.
、
.
32息途述火的陶理
33RTP500埚快途述火炒.
34AZ0蒂腾息通火的曲组
第四章快逛泓人的广对A2O满腋性肖形
.
.
42逾火渡度对A20渡膛的电学特性的影响。
43逾人渡度对AZ0渡炎的光学性综的形响.
44小绑
第五章快速迥人时间对A20葛股性陶的彰售
5遏火时间对A20渥膛结柄的形咸。
一丝大学现上学人许文
平L1AZ0技绑仪及应力分砂.
512AZ江面形蚩分阮
52迥大明闹寺AZ0蒂肉学性俳的形响、
53迥大时间对AZ0蒋腺光学性腔的形响.。
54小绪
第八宁绘
61主浩绽果。
八为吴衣
2伟
吊医史沥许许丞
发课顽士学位期间发表的诊目沥..
一丽大学颖主学位论文
CONTENTS
AbstmctinChinese
Abstact.、
Listofsymbol
ChaplerOneInstmictions..
1Summarize.
12Kindsandbasicchanelersticsoftransparentconductivefiims.、
.
122Tiansparentconductiveoxidesims
123Organictransparentconductivefiims
13NewdevelopmentgsofAZOfIms
14PhoperiesandpreparationsofAZOIng,
144ProperiesofAZOfms.
142PrepantionsofAZ0fiim
1423lonbeamechnology
1424Chenicalapordeposition
,
1426Sokgelmethod、
14278pmypyrlgsi
15FiimpostprocessingResearct.
16Researchpmject
ChaplerThoPreparationandmeasurementsofsamples、
21PreparationofAZ0ims,
211Magetonsputeringsystem
212Principleofsputetmg、
212