文档介绍：西北大学
硕士学位论文
钛基纳米金刚石涂层场发射阴极工艺研究
姓名:翟春雪
申请学位级别:硕士
专业:电路与系统
指导教师:张志勇
20030601
摘要笪苎塑苎垒互堡星堑垄型堕堡三苎塑塞————采用Ⅺ①、、虴等测试分析手段,对实验样品进行目前市场上对平板显示器的需求日益增多,而在各类平板显示器中,场致发射平板显示器兼有阴极射线管显示器和液晶显示器的优点,具有极大的发展本文介绍了一种器件结构和制备工艺简单,易于实现大屏幕显示,且适于批量生产的新型场发射阴极,即在金属钛衬底上均匀涂覆纳米金剐石涂层,然后在高温下退火处理实现两者的牢固键合,并形成欧姆接触。从理论上研究了铝附鹗艋鸶帐擅淄坎愠》⑸湟跫ǖ目赡苄裕⒏相关理论,提出一整套工艺设想。重点探索了涂覆金刚石纳米涂层的方法、实现金剐石与金属钛的热粘接工艺以及氢等离子体处理的工艺参数,筛选出了在本实验系统中的最佳方法和工检测分析。分析结果表明,热处理后,样品表砸确实生成了Ⅱ迪至私鸶石纳米涂层与金属的键合。自行设计组建了场发射性能测试系统,并用其测试了样品的场发射性能,表明实现热粘接后样品具有较好的场发射性能。关键词:纳米金刚石涂层场发射阴极氢等离子体表面处理潜力。艺条件。钛衬底热粘接西北大学硕士学位论文
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日期:塑兰,垦独创性声明本人声明所呈交的论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢中所列内容外,论文中不包含他人已经发表的研究成果及本校或其它教育机构的学位论文中使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所作的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了谢意。本人签名:
苎二主堑鍪茎型星重壁墨里垂垫查塑尘—一—————第一章场致发射显示器及显示技术简介§主流显示器性能比较㈣.跫湎吖芟允酒实现全色显示、响应速度高、具有很好的彩色和灰度能力、颜色再现逼真、寿进入世纪以来,显示技术作为人机联系和信息展示的窗口已应用于娱乐、工业、军事、交通、教育、航空航天、卫星遥感和医疗等各个方面,显示产业已成为电子信息工业的一大支柱产业。在我国,显示技术及相关产业的产品占信息产业总产值的%左右。随着电子与信息学科的飞速发展,作为信息光电子技术的信息传输、处理、获取、存储和显示五个重要方向之一的显示技术也随之迅速发展。现有的显示设备按照显示原理可分为;阴极射线管显示器⒁壕示器⒌壤胱犹逑允酒、场发射显示器⒌缰路⒐庀允酒、发光二极管显示印⒄婵沼ü庀允酒、电致变色显示器⒌缬显示器、铁电陶瓷显示器等。理想的显示器件应具有高亮度、高对比度、高分辨力、大显示容量、能全彩色显示、低电压驱动、低功耗,高可靠、长寿命以及重量轻和大画面等性能。但是,在目前已有的各类的显示器件中,没有一种显示器件能实现上述所有要求。目前己进入市场的显示器件都能满足上述完美要求中的~部分,因此也都在一定的领域内获得广泛的应用。现在市场上主要的显示器件有:阴极射线管⒁壕允酒、发光二极管⒌壤胱犹逑允酒骷和场发射器件鹊龋中除了舛际粲谄桨逑允酒骷众所周知,目前市场上可见的显示器件中,男阅茏罴选哂泻芎玫目墒有高亮度和高对比度⒎⒐庑矢摺⒉噬ǚ岣弧⒖命长纱蛐∈、寻址简单,再加上墒斓闹谱骷际鹾蜕拇蠊业化,其性能价格比是目前其他显示器无法比拟的。.
:竺量苎鲞叁型至塑星堑垄堑堕塑苎苎堡窒一———⒚较长:对环境温度有一定限制谝嬉韵虏荒芄际醪欢贤晟疲郧蛎嬷鸩椒⒄刮F矫嬷苯恰⒅妗⑼耆矫妫蚁示尺寸逐渐增大,现在英寸已到处可见,而且画面更细腻,色彩更鲜明,视觉效果非常舒展。进入年代以后,技术已开始走向项峰,其发展余地逐步缩小,加之际豕逃械娜毕荩禾寤蟆⒅亓恐亍⒐拇蟆⑼枷裼猩了浮⒍抖突洌应用电压高达蛱畲笾惫巯允境叽缡芟蓿撩婺谟泄馍⑸涞龋嫫桨逑示器带来了发展的机会,使得谝恍┝煊虻氖谐】J际艿狡桨逑允酒骷瓜分和挑战。自年代以来。高新技术的发展促进了平板显示技术的进步,使它成为了信息产业中最活跃的一个研究领域。液晶显示器⒌壤胱犹逑允酒等被相继开发出来。显示出了各自的优势。壕允酒悄壳捌桨逑允酒髦杏τ米罟惴旱囊恢郑捎贚本身的工作原理决定了液晶显示工作电压低、功耗小、无幅射、无污染、重量轻、厚度薄;适于大规模集成电路直接驱动、易于实现全彩色显示。但它是受光器件,在暗场显示不清楚;响应时间游⒚爰兜郊盖Ш撩作幌允径员榷扔胧咏欠较蛴泄兀泳跣Ч芸墒咏嵌认拗坪苊飨裕河捎诩际上的限制,屏幕越大成本就越高;这些弱点局限了液晶显示器的使用范围。5壤胱犹逑允酒其特点是易于实现薄型大屏幕;体积小、重量轻;无湎叻