文档介绍：西北大学
硕士学位论文
溶胶-凝胶法制备Zn<,1-x>Mg<,x>O、Zn<,1-x>Mn<,x>O薄膜及其
发光性能研究
姓名:吕婷
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:张志勇
20090601
摘要∧如、禡⒂肵射线衍射⒃恿ο晕⒕及光致关键词:溶胶一凝胶技术,趃∧ぃ琙埘薄膜,光致发光作为一种新型的直接带隙半导体材料,,在对其晶格结构影响较小的前提下,使拇犊矶仍谝欢ǚ段诹傻鞔佣跋炱浞⒐庑阅堋R虼耍琙基半导体材料在短波长紫外发光器件、量子阱和超晶格结构中蕴涵着巨大的应用前景从而成为当前国内外研究的热点之一。该论文采用溶胶一凝胶技术和正交设计实验法在衬底上制备、掺杂发光炔馐苑椒ǘ运票傅腪基掺杂薄膜的结晶质量、表面形貌及发光性能进行表征,系统地研究不同工艺参数对畑.∧そ峋е柿亢头⒐庑阅艿挠测试结果表明:实验所制备的茁蚙.∧ぞ哂辛己玫腃轴择优取向性,相对于无掺杂∧附近的紫外发光峰,、元素的掺杂使其向短波长方向分别移动至左右,同时,笥业目杉光带在畑薄膜中得以钝化,极大地提高了薄膜的紫外发光性能。实验证明,在较优工艺参数下所制备的畑薄膜,其近带边紫外光发射与深能级可见光发射比论文并对畑、奈蝗绫∧さ淖贤夥⒐饫兑苹斫刑教郑芯拷峁砻元素掺杂增大了慕矶龋鳰K夭粼釉蚴且蛭狟效应展宽了墓庋Т叮虼耍琙..∧ぶ凶贤夥⒐夥謇兑频幕是不同的。同时,∧ぶ锌杉⒐獾亩刍且蛭狹K氐拇嬖谟行У刈瓒了可见光发射中心”的形成,且在畑。薄膜中存在的的氧化物形成了俘获光生载流子的钝化层,有效地阻断了目杉夥⑸洹响。
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学位论文作者签名:莺缰傅冀淌η┟:匀嘀籪》年粄西北大学学位论文知识产权声明书籰和汇编本学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所等机构将本学位论西北大学学位论文独创性声明学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本人完全了解西北大学关于收集、保存、使用学位论文的规定。学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版。本人允许论文被查阅和借阅。本人授权西北大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存文收录到《中国学位论文全文数据库》或其它相关数据库。保密论文待解密后适用本声明。本人声明:所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,本论文不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得西北大本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签名:刍
第一章绪论研究背景及意义材料、信息与能源被称为现代人类文明的三大支柱。世纪以来,信息技术依托电子学和微电子学技术迅速发展起来,然而由于光子的载波密度比电子的大得多,导致以光盘为主的信息存储技术不断更新换代。同时,由于光子的传输速度远大于电子,为了提高信息传输速度,信息的载体必然由电子发展到光子,如用短波长激光光束代替无线近年来,由于光电子技术、信息技术、光学精密测量以及航空航天等较多领域对短波长发光器件持续增长的需求碳ち耸澜绶段诙孕滦头⒐獠牧系墓惴汗刈ⅲ乇是对宽禁带半导体材料牟粼友芯扛浅晌9谕庋芯康娜鹊阒弧】。魑R恢中滦偷蘑颍鲎逯苯涌泶栋氲继宀牧希谑椅孪戮哂泻芨叩募ぷ邮缚能土己玫腃轴择优取向的六角纤锌矿结构,其较大的禁带宽度哂广泛的发光域值范围和良好的光、热稳定性,且在大气中不易被氧化,这是Ⅲ.宓化物和Ⅱ.Ⅵ,哪诰勰芎腿鄣愣己芨撸哂泻芮康慕岷夏芰Γ以诔Ц窠构中其激子束缚能可以超过@砺凵侠唇玻磕芙洗蟮募ぷ釉谑椅孪驴梢稳定存在,因此,相对于其它半导体材料,自谑椅孪率迪指咝实淖贤夤馐芗电波等【的相关特性。表宽禁带半导体材料的性能参数禁带宽度纤锌矿材料晶体晶格常数熔点内聚能激子束缚能结构闪锌矿西北大学硕士学位论文.
室的甃掣陀肕法在蓝宝石上外延生长∧ぃ⒁⑻裟艿绯氐戎疃领域得到了广泛的应用,也使制备贤饧す馄骷晌?赡堋3酥猓琙晶体可以通过掺杂调节其带隙宽度,这使得牧显诙滩ǔぷ贤馓讲馄鳌⒁熘式峒量子阱等领域也有着巨大的发展潜力【拧K孀哦訸研究的不断深入,牧系挠用必将不断渗透到众多领域。魑R恢钟帕嫉氖椅伦贤夥⒐獠牧稀谥票阜椒ㄉ铣氏殖龆嘌院鸵卓匦裕被认为是构造短波长激光器及量子阱结构的新型材料4俗欧⒈砹宋章,评论说∧さ淖贤饧す夥⑸涫且幌钍种匾6矣幸庖宓墓ぷ鳌。在美国召开的首届ㄌ夤恃刑只幔踩衔猌