文档介绍：西安科技大学
硕士学位论文
声表面波加速度传感器的研究
姓名:苗国耀
申请学位级别:硕士
专业:检测技术与自动化装置
指导教师:刘骏跃
20080415
、习糯关键词:声表面波删:悬臂梁式铀俣却ǜ衅鳎换炱担件研制、开发新型传感器,声表面波俣却ǜ衅骶褪墙昀葱矶喙抑氐阊芯摘要论文题目:专业:硕士生:指导教师:声表面波加速度传感器的研究检测技术与自动化装置苗国耀刘骏跃┟研究类型:应用基础研究,简写在十九世纪八十年代被英国物理学家瑞利发现,随着声表面波技术的发展,在二十世纪八十年代,人们开始利用声表面波器响应特征,改变了目前铀俣却ǜ衅骼砺垩芯恐腥狈Χ稍丶だ芯康南肿矗声表面波的一种高性能、低成本的声表面波传感器。作为一种灵敏度极高的惯性传感器,深入研究铀俣却ǜ衅鞯拇ǜ谢砑捌浼觳饧际酰唤鼍哂欣砺垡庖澹揖哂泄こ淌用价值本文分析了现有悬臂梁式铀俣却ǜ衅鞔嬖诘囊恍┪侍猓芯苛苏攵运堑实际解决方案和工程设计原则。本论文在悬臂梁式铀俣却ǜ衅餮芯糠矫嫒〉玫具体成果有:瓿尚哿菏絊加速度传感器的系统设计,提高了铀俣却ǜ衅鞯拿感性、准确性及其工作性能。許加速度传感器差动方案进行了改进,不仅进一步抑制了温度干扰因素对加速度传感器的影响,而且降低了其加工制作的难度。芯苛私自炯铀俣裙咝粤だ拢哿菏絊加速度传感器差频输出的动态富了悬臂梁式铀俣却ǜ衅鞯难芯坷砺邸肧滤波器为铀俣却ǜ衅髟鎏砹思铀俣确较蚺卸瞎δ埽筍加速度传感器可以通过电容器静电力保护悬臂梁和实时调整量程。杓屏怂炱档缏罚褂肞云浣辛朔抡嫜芯浚抡娴慕峁和理论符合的很好,并在仿真分析的基础上提出滤波和测频方案。双栅混频电路
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西姿彳爹技太学指导教师签名:切睢期:卅贰#甁专争讧℃辱瓵学位论文独创性说明学位论文知识产权声明书本人郑重声明:所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作包含其他人或集体已经公开发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得西安科技大学或其他教育机构的学位或证书所使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡表示了谢意。本人完全了解学校有关保护知识产权的规定,即:研究生在校攻读学位期间论文工作的知识产权单位属于西安科技大学。学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版。本人允许论文被查阅和借阅。学校可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。同时本人保证,毕业后结合学位论文研究课题再撰写的文章一律注明作者单位为西安科技大学。保密论文待及其取得研究成果。尽我所知,除了文中加以标注和致谢的地方外,论文中不学位论文作
髀声表面波加速度传感器及其应用前景【俊】【俊】【声表面波,简写为速度传感器从上世纪八十年代开始迅速发展,它以其特有的准数字化输出、较高的抗干扰能力和高精度、高灵敏度,成为其它类型加速度传感器的有力竞争对手。因此,开展铀俣却ǜ衅鞯难芯烤哂加速度传感器是利用物体的惯性性质来测量物体运动情况的一类惯性传感器。它输出与运载体的运动加速度成比例或有一定关系的信号。加速度传感器原理基于牛顿经典力学,即牛顿力学第二定理:物体在外力的作用下将产生加速度,其大小与所加外力成正比,与物体质量成反比,方向与作用力的方向一致。加速度传感器的种类很多,发展也很快,目前应用比较成熟的有电容式加速度传感器和压阻式加速度传感器。压阻式加速度传感器是利用硅材料的压阻效应来敏感被测加速度的,其关键技术是设法通过某种机械装置将被测加速度转换为硅材料电阻率的变化。压阻式加速度传感器具有频率响应特性好、测量方法易行、线性度好等优点,其缺点是温度效应严重、灵敏度低。电容式加速度传感器是将被测加速度转换成电容的变化来进行加速度测量的。其基本特征是工作性能稳定,温度漂移小。然而,电容式加速度传感器在将被测加速度转换为对应的电容器电容变化量时,由于加速度惯性力引起电容极板位移的敏感度和速度总是慢于和小于悬臂梁等支承梁上应力变化的敏感度和速度,所以声表面波加速度传感器对被测加速度的敏感度和响应速度要高于和快于电容式等其他类型的加速度传感器。读者将从本文的研究工作看到,声表面波加速度传感器具有结构简单、制作方便,耐冲击、性能稳定可靠、灵敏度高,抗干扰能力强等许多优点,是一种应用前景光明的加速度传感器。近年来,开发新型功能材料、研究新型传感技术,已被很多发达国家列为现代和未来科学研究和技术开发规划中的战略重点。利用新材料、新原理和新工艺研制出高性能、低成本、智能化、微型化的传感器是研究新型传感器的主要手段和最终目标。在种类众多的传感器家族中,声表面波传感器是其中比较出色的一员。声表面波传感器是利用声表面波谐振器来敏感外界力场缌Α⒀沽Α⒓铀俣瘸〉的扰动